三维磁场测试平台
三维磁场测试平台是专为三维空间内测试磁场强度并可视化呈现而开发的集成系统能够通过软件自动控制三维运动系统在X、Y、Z轴三个方向运动，并通过高斯计实时测试磁场强度的大小，可实现对测得的磁场强度数据的分析、可视化呈现，生成磁场强度梯度图，包含三维视图、俯视图、侧视图等多种视图。
三维磁场测试平台产品概述
参数和指标：
三维磁场测试平台基座
三维磁场测试平台平台基座包含样品放置平台、基座腔体、减振垫脚。样品放置平台尺寸90cm*48cm（350mm行程款），用于放置磁性样品；基座腔体中空，内置三维运动系统的运动控制器；减振垫脚有四个，橡胶材质，有减振效果，可通过垫脚中的螺栓调节平台基座四个垫脚的高度。
| 重量 | 250 Kg |
| 整体尺寸 | 长 80cm，宽 105cm，高 112cm |
| 样品区域尺寸 | 90cm*48cm |
| 减振方式 | 橡胶垫脚 |
三维运动系统
三维运动系统包含X、Y、Z三轴电机，运动控制器。运动控制器通过软件控制X、Y、Z三轴电机运动从而带动高斯计探头的运动，进行空间内磁场强度的测试。
| X轴移动行程 | 350 mm |
| Y轴移动行程 | 350 mm |
| Z轴移动行程 | 350 mm |
| 移动速度 | 可调，50mm/s |
| 移动精度 | 可调 |
| 控制方式 | 软件 |
| 位移可调精度 | 0.01 mm |
三维磁场测试平台技术参数
三维磁场测试平台应用领域
半导体
集成电路
晶圆片
