HX12N系列半自动探针台
HX12N系列半自动探针台配置高精度的直线电机滑台模组，行程满足8英寸、12英寸芯片的测试。定位精度高，反应速度快以及使用寿命长等优势，滑台同时配备了高精度的光栅反馈系统，保证了运行精度的可靠性，并且该模组为本公司自研产品，保证了模组的成品质量和生产周期，为探针台的测试提供了又快又准的硬件保障。
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HX12N系列半自动探针台产品概述
HX12N系列半自动探针台配置高精度的直线电机滑台模组，行程满足8英寸、12英寸芯片的测试。定位精度高，反应速度快以及使用寿命长等优势，滑台同时配备了高精度的光栅反馈系统，保证了运行精度的可靠性，并且该模组为本公司自研产品，保证了模组的成品质量和生产周期，为探针台的测试提供了又快又准的硬件保障。
软件功能介绍
• 可测试圆片，测试范围可选，支持隔行抽测和环形测试，MAP图可以编辑测试；
• 支持坏点重测；
• 具备离线打点、同步打点功能；
• 具备接触缓冲功能，针痕稳定；
• 运行精度补偿功能，保证测试的稳定性；
• 测试良率、总数、速度显示；
• CCD图像自动对准和定位；
• 设备具备一定的抗干扰能力，支持高低温测试，运行稳定；
• 多BIN分类测试，测试数据可以存储，可以导出，兼容后道设备格式使用，具有数据统计分析功能；
• 操作员，管理员，系统厂家权限管理功能
HX12N系列半自动探针台技术参数
参数和指标：
性能名称 技术指标 可测片径 8″、12″ XY工作台 结构 直线电机 行程 230mm × 220mm，分辨率：1μm 速度 ＞200mm/s 定位精度 ≤±2μm 承片台 Z向行程 10mm，分辨率：1μm Z台精度 ≤±1μm Z向分辨率 ≤±0.5μm θ向调节范围 ±25° θ向分辨率 0.006° 显微镜/视频显示系统 双目体视显微镜/可选配三目显微镜及CCD实时视频显示装置 控温范围 -45℃~150 ℃ 温度设置分辨率 0.1 ℃ 温度均匀性 -45°C 至 +150°C < ±1 °C，>150 °C < ±1 %
HX12N系列半自动探针台应用领域
半导体
集成电路
晶圆片
