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美国 Lake Shore EMPX-HF电磁铁探针台可以对器件进行非破坏性的测试,器件的最大尺寸可达到25mm(1inch)。它可以对材料或器件的电学特性测量、光电特性测量、参数测量、high Z测量、DC测量、RF测量和微波特性测量提供一个测试平台。一般来讲,纳米电子材料、量子线、量子点和半导体材料、自旋电子器件是在EMPX-HF在进行测量的比较典型的材料。系统的探针、测试电缆、样品架都有多种类型可供选择,从而满足不同用户的需要。
EMPX-H2 低温真空探针台产品介绍 |
美国 Lake Shore EMPX-H2提供5.5koe(0.55T)的水平磁场,整个设备安装在防震台上。EMPX-HF的温度变化范围4.5K到400K,通过温度选件,最低温度可以达到3.2K。系统需要使用液氦或液氮实现变温。当在室温下产生磁场时不需要制冷剂。当样品的温度低于80K时,需要用液氦制冷。热辐射屏大大降低了黑体辐射,提高了制冷效率。冷头上安装加热器,减小了样品的温度梯度,加上热辐射屏上的加热器,整个系统可以实现快速的变温。
美国 Lake Shore EMPX-H2具有最多4个可以进行微调整的探针臂,每个探针臂上的探针都可以进行3维方向上的定位。360度旋转选件适用于各向异性和性能和角度相关的样品。
EMPX-H2 低温真空探针台产品特点 |
● 0.55T水平电磁铁磁场
● 系统可使用液氮或液氦制冷,基本系统温度范围:4.2 K to 400K
● 360° 旋转样品座可做为选件提供
● 测量DC到67GHz
● 最大测试样品尺寸25mm(1in)直径
● 控温稳定性:±50mK
● 最多可使用4个探针臂
● 电缆、屏蔽和Guard保护进一步减少了电噪声和热辐射损失
● 可提供不同的选件和附件来满足特定的科研测试需要
EMPX-H2电磁铁低温真空探针台
温度 | |||
温度范围 | 标准温度范围:4.5K到400K | ||
低温选件温度范围:3.2K到400K | |||
温度稳定性 | ±50mK | ||
加热器温度控制 | |||
样品台 | 100W | ||
辐射防护屏 | 2个100W | ||
探针臂 | 只监视温度 | ||
磁场 | |||
最大磁场 | 5.5koe(0.55T)*(水平方向) | ||
磁场均匀区(70A) | |||
10mm 直径wafer | 0.6% | ||
12.7mm直径wafer | 1.1% | ||
20mm直径wafer | 2% | ||
25.4mm直径wafer | 2.6% | ||
探针臂行程及分辨率 | |||
X轴 | 51mm(2inch),20μm分辨率 | ||
Y轴 | 25mm (1inch),10μm分辨率 | ||
Z轴 | 18mm (0.7inch),10μm分辨率 | ||
系统真空指标 | |||
抽真空时间 | 系统冷却前抽真空到10-3Torr,需要30分钟 | ||
室温真空度 | 10-4Torr | ||
样品架转动 | 360度(选件) | ||
光学分辨率-显微镜 | |||
7:1 Zoom | 8微米 |
EMPX-HF2电磁铁低温真空探针台基本系统组成
磁场 | |||
电磁体 | 5.5koe (0.55T),水平磁场 | ||
水冷流量 | 7.6升/分钟 | ||
电磁铁电源 | Lakeshore Model 643 | ||
输出 | 双极,线性,4相,直流电源 | ||
最大电流 | ±70A | ||
最大电压 | ±35V | ||
水冷流量 | 5.7升/分钟 | ||
高斯计和霍尔探头 | Lakeshore 475 高斯计,控制和监测磁场 | ||
制冷 | |||
开循环制冷 | 4.5K到400K | ||
样品台温度传感器 | Lake Shore CX-1050-SD-HT-1.4M 标定Cernox温度计 | ||
样品台加热器 | 100W | ||
冷辐射屏和红外吸收窗口 | |||
温度传感器 | Lake Shore DT-670-CU 硅二级管温度计 | ||
防辐射屏加热器 | 1个100W和1个50W(需要单独选配温度控制器) | ||
上盖可打开 | ¢50mm(2inch) | ||
温度控制器 | 一台Lake Shore 336温度控制器,和一台142 200瓦电源,(控制冷头和防辐射屏温度,进行探针臂温度监视) | ||
真空腔体 | |||
直径 | 340mmx203mm(13.4inchx8 inch) | ||
上盖可打开,带清晰的熔凝石英窗口 | ¢54mm(2.13inch) | ||
探针臂开口 | 4个等间距的开口 | ||
泵口 | NW-40,带有真空隔离阀(真空泵需要另外订购) | ||
气体清洗接口 | NW25 | ||
铝制底座 | 787mmx419mm (31in×16.5 in) | ||
PS-TMC振动隔离系统 | 包括气动隔离器,支架等,需要40psi氮气或空气 | ||
Isolator 自然频率 | 垂直0.8Hz,水平1.0Hz | ||
在5Hz 时Isolation 频率 | 垂直80-97%,水平60-90% | ||
在10Hz 时Isolation 频率 | 垂直90-99%,水平70-95% | ||
一个探针臂上安装温度计,用来监视探针臂温度 | |||
接地样品架 | SH-1.00-G,最大可测量样品尺寸¢25mm(1inch) | ||
光学 | |||
Zoom 70显微镜 | 8μm分辨率 | ||
彩色CCD相机 | S端子输出和复合输出 | ||
扫描镜头臂 | 镜头的调整臂可以进行旋转、上下升降、前后移动,这样确保在整个样品架范围内对样品进行观察,在更换样品的时候,也可以把调整臂旋转到一侧,方便更换。 | ||
显示器 | 17in显示器 | ||
样品照明设备 | 同轴灯和环形灯 | ||
带脚阀和流量计的液氦传输管线 | |||
控制柜 | |||
基本工具、备件和清洁工具 |