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 CRX-4K 低温真空探针台产品介绍


使用Sumitiomo 公司的4K闭循环制冷机,不需要消耗液氦和液氮,CRX- 4K的温度变化范围4.5K到350K,加上一个可以更换的高温样品架选件,温度变化范围50K到500K。每一个低温样品级都安装温度计和加热器,可以提供快速的热响应,快速迅速回到室温,样品更换很方便。热辐射屏大大降低了黑体辐射,提高了制冷效率。


系统采用了精心的设计来减低振动,采用各种减震装置阻止机械振动影响测量的性能。在全量程温度范围内,样品的振动小于1um ( X, Y, Z轴)。


美国 Lake Shore CRX-4K最多可安装6个可以进行微调整的探针臂,每个探针臂上的探针都可以进行3维方向上的定位。微波探头可以±5°旋转,使样品可以更好的和探针匹配。DC探针低噪音,低漏电流,热接触好。RF探针可以频率到67GHz.,光线可以从窗口入射,也可以通过光纤导入。专用的探针根据尺寸和材料不同,分为多种类型,探针减少了热质量,优化了和器件的电接触性。每个探针都直接和冷头进行导热,这样就减小了探针对样品的热传递。

 


 CRX-4K 低温真空探针台产品特点

    ●      采用闭循环制冷机制冷,不需消耗液氮或液氦,基本系统温度范围:4.5K到350K

    ●       控温稳定性±50mK

    ●      系统冷却时间<3.5小时

    ●      低振动设计:在样品台<1μm ( X, Y, Z轴)

    ●      测量DC到67GHz

    ●      各种样品架适于低噪音,高频,高阻测量

    ●      最大测试样品尺寸51mm(2in)直径

    ●      最多可使用6个探针臂

    ●      探针臂可进行3轴调整和平面内±5度的调整

    ●      电缆、屏蔽和Guard设计减小了电噪声和热辐射损失

    ●      多种选件和附件的设计可满足不同用户的需要

CRX-4K无液氦闭循环制冷机低温真空探针台技术参数


温度
温度范围标准温度范围:基础温度4.5K, 温控范围5-350K

选件温度范围:基础温度4.5K, 温控范围20-500K

2个臂4个臂6个臂

4.5K, 5-500K5.5K, 6K-500K6K, 6.5-500K
制冷时间
室温到最低温度的10K以内1.5小时
室温到最低温度的1K以内2小时
升温时间,从最低温度到室温1小时
温度稳定性±50mK
加热器温度控制
样品台100W
二级冷头50W
一级冷头200W(1个加热器并联,一个100W
探针臂只监视温度
系统振动指标
振幅( X, Y, Z轴)<1um 峰峰值,样品台
探针臂行程及分辨率
X轴51mm(2inch),20μm分辨率
Y轴25mm (1inch),10μm分辨率
Z轴18mm (0.7inch),10μm分辨率
系统真空指标
抽真空时间CCR制冷前抽到10-3 Torr,需要20分钟
腔体体积8.7升(530 in3)
室温真空度10-4Torr




光学分辨率-显微镜
7:1 Zoom4微米


CRX-4K无液氦闭循环制冷机低温真空探针台基本系统组成


闭循环样品台制冷机- SHI RDK-408D24.5K(最低温度),5K到350K(控制温度)
样品台温度传感器Lake Shore CX-1050-CU-HT-1.4M, 标定Cernox温度计
二级冷头温度传感器Lake Shore DT-670-CU 硅二级管温度计
一级温度传感器Lake Shore DT-670-CU 硅二级管温度计
样品台加热器100W
二级冷头加热器50W
一级冷头加热器200W(2个并联的加热器,每个100W)
冷辐射屏和红外吸收窗口
直径127mm(5 in)
温度传感器Lake Shore DT-670-CU 硅二级管温度计
材料镀镍的铝
防辐射屏加热器100W
上盖可打开,带视窗¢51mm(2inch),¢50mm(1.97inch)可视区域
样品区域127mm(5inch)
温度30-35K
温度控制器2个Lake Shore 336温度控制器(分别控制控制样品台、一级冷头、二级冷头、防辐射屏的温度和监视探针臂的温度)
真空腔体
直径203mm(8inch)
密封O-ring (370 Buna-N)
上盖可打开,带清晰的熔凝石英窗口¢64mm(2.5inch)
Viewable area¢54mm(2.13.inch)
探针臂开口6个等间距的开口
泵口KF-40,带有阀(真空泵需要另外订购)
真空计接口KF-25(真空计不包含在内
充气口0.25in TPT,带阀(只允许惰性气体)
过压安全阀3.4kPa (0.5psi),压力放气阀
铝制底座635mm x 508mm (25 in x 20 in)
支架低振动,焊接不锈钢减震支架
一个探针臂上安装温度计,用来监视探针臂温度
接地样品架SH-1.25-G,最大可测量样品尺寸¢32mm(1.25inch)
光学
Zoom 70显微镜4μm分辨率
彩色CCD相机
扫描镜头臂镜头的调整臂可以进行旋转、上下升降、前后移动,这样确保在整个样品架范围内对样品进行观察,在更换样品的时候,也可以把调整臂旋转到一侧,方便更换。
显示器17in显示器
样品照明设备同轴灯和环形灯
仪器控制柜
基本工具、备件和清洁工具