Janis CCR闭循环系列探针台为研究人员提供了真空和低温测试功能,而无需使用液氦,液氮制冷。4 K、10 K和80 K低温恒温器使用成熟的GM制冷机冷却样品,性能可靠且价格合理。典型应用包括MEMS、纳米级电子、超导、铁电、材料科学和光学。
Janis CCR闭循环系列探针台为研究人员提供了真空和低温测试功能,而无需使用液态制冷剂。4 K、10 K和80 K低温恒温器使用成熟的Gifford-McMahon(GM)技术进行可靠且价格合理的样品冷却。典型应用包括MEMS、纳米级电子、超导、铁电、材料科学和光学。
配置:
● 振动小于1 µm
● 温度范围(安装了4个探头臂)从4.5 K到350 K(可选:6.5 K到475 K或6.5 K到675 K)
● 最多可容纳2英寸(51毫米)直径的晶圆(可选:最大8英寸[200毫米])(有关更多详细信息,请参见规格表)
● 多达八个冷却,易于互换的微操作探针臂
● 直流至67 GHz的电学测量
● 性价比高的LF探针,易于更换
● 三轴探头臂的泄漏电流非常低(在1 V时通常为1至2 fA)
● 非接触式,非破坏性的Kelvin探针
● 多头探针
● 带有单模和多模光纤选件的光纤探头臂
● 带有电缆和电线的附加电气穿通线到样品区域
● 可选的特殊微型真空腔,可将真空状态下的样品从手套箱转移到探针台
● 适用于所有单筒望远镜系统组件的精确平移xyz行程平台
● 可选的可移动样品座
● 客户定制选件