上海懿宏科学仪器有限公司

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Janis ST-500系列探针台是高性能的研究仪器,旨在为晶片和设备提供经济实惠的真空和低温探测环境。久经考验的ST-500低温恒温器是这些探针台的基础部分,包括低振动技术(最初设计用于高空间分辨率光学显微镜),以提供出色的样品位置稳定性。 世界各地的研究人员正在使用这些系统来进行广泛领域的研究,包括MEMS、纳米级电子学、超导性、铁电学、材料科学和光学。


●    低振动和低位置漂移

●    温度范围为约3.5 K至475 K(可选:8 K至650 K)(取决于探头)

●    适用于液氮或液氦

●    氦气消耗量小于1 L / h

●    最多可容纳2英寸(51毫米)直径的晶圆(可选:最大8英寸[203毫米])

●    多达七个冷却的、易于替换的微操作探针臂

●    直流至67 GHz的电学测量

●    多种性价比高的LF探针,易于更换

●    极低的三同轴探针臂漏电电流,仅为几fA

●    非接触式、非破坏性的Kelvin探针

●    多头探针

●    带有单模和多模光纤选件的光纤探头臂

●    通过样品架的可选光学通道,用于透射测量

●    到样品区域的带有电缆的附加电气馈通

●    可选的特殊微型真空腔,可将真空下的样品从存储箱安装到探针台

●    适用于所有单筒显微镜系统组件的非常平稳的x-y-z行程平台

●    可选的可移动样品座

●    客户定制选件

●    在为现有的“湿式”探针台寻找无制冷剂的选择吗?可选的循环气体制冷机消除了在“湿式”系统中使用液氦的麻烦。


ST-500-EM

室温,水冷式电磁铁,具有可变的水平磁场,最高可达0.6 T(6000 G),在25毫米直径范围内的磁场均匀度为2%(在10毫米直径范围内均匀度为1%)

多达四个可互换的探针臂

开循环探针台选件,基于低振动的显微镜ST-500低温恒温器

闭循环(无制冷剂)探针台选件

高斯计和霍尔探头测量磁场

可选的单极、高稳定性、风冷电磁体电源

可选的双极,高稳定性,水冷电磁体电源

可选的手动控制,精密旋转平台,最小步进为1度

注意:可能会将基础温度提高几度

可选的attocube纳米定位器旋转平台,最小步进为1毫米

注意:可能会将基础温度提高几度

可选执行电学测量的软件,使用闭循环水平磁场电磁探针系统

可选特殊微型真空腔,可将真空下的样品从手套箱安装到探针台


超高真空探针台

Janis提供了完整的探针台系列,适用于在超高真空环境中进行电气测量。 提供了几种标准设计,并且可以对系统进行自定义配置,以满足各种用户需求。


ST-SCON

ST-SCON模型中的超导磁体可提供高达3 T的可变垂直磁场,在10 mm直径上的磁场均匀度为5%。


ST-500-PM

带有永磁体的ST-500-PM型号可用于磁场相关的测量。这些系统非常适合在各种实验中研究磁光和磁电特性,包括量子点、自旋电子器件和纳米级电子学,可配置为水平或垂直磁场。


平行磁场平行于样品安装平面——两个圆柱形永磁体可产生高达1000 G的可变水平磁场。


垂直磁场垂直于样品安装平面——一组六个环形永磁体可产生300G到2000 G的垂直磁场。


探针台可选配件:

●    额外的可替换探针臂

●    额外的真空腔端口,可用于未来的升级或者安装更多探针臂

●    特殊的微型真空腔,可将真空下的样品从存储箱安装到探针台

●    可移动样品座

●    Attocube纳米级线性或者旋转定位器,与探针台配合使用

●    带有电缆和电线的附加电气穿通线到样品区域

●    特殊的光学窗户,包括侧窗和底窗配置以及不同的窗材

●    额外的流量控制阀,流量可变(3.6至72 Torrl / s),可将不同流量的气体导入真空腔

●    系统定制选件

●    自动温度控制器

●    涡轮增压泵站,包括一个备用机械泵或无油隔膜泵

●    泵和探针台之间的泵线隔振器

●    带有或不带有便携式超静音空气压缩机的气动振动隔离台

●    机械泵站,抽氦气排气口,可在4.5 K以下运行

●    带有入口连接器的液氮存储杜瓦瓶,用于连接探针台传输管线

●    低蒸气压热锚固润滑脂

●    在为现有的“湿式”探针台寻找无制冷剂的选择吗?可选的循环气体制冷机消除了在“湿式”系统中使用液氦的麻烦。


ST-500系列技术参数

振动等级±25 nm
位置漂移30分钟内±150 nm
真空环境

常规真空 (~10-5 to 10-6 mbar)

高真空 (~10-6 to 10-7 mbar)

超高真空 (~10-8 to 10-9 mbar)

温度范围

约3.5 K到475 K (DC探头) (650 K可选)

约3.5 K到450 K (MW探头) (300 K到535 K可选)

制冷剂消耗量液氦:小于1 L/h; 液氮: 小于0.1 L/h

温度稳定性

±50 mK
冷却时间 (对于直径为2的标准样品座)约30分钟到10K,约60分钟到5K
预热时间约45分钟,带快速预热选项(约4小时,无快速预热)

样品座

标准直径2英寸(51毫米),最大

203毫米(8英寸)

接地的样品座

带偏置电压同轴电缆的电绝缘样品座

透光实验专用样品座

无铅芯片载体(LCC)支座

可互换的探针臂

DC / LF探头:DC至20 MHz,并提供以下探针针尖:

-钨探针,探针半径为0.1至200 µm的针尖(可选镀金)

-特殊柔性可弯着的钨探针

-铍铜探针,接触电阻低

同轴或三同轴(漏电电流为几fA,1V激励电压)线缆

微波探针:0到40 GHz;0至50 GHz的;0至67 GHz的

光纤探头:单模;UV-VIS或VIS-IR多模

非接触式无损开尔文探针

多尖端探针

光学窗口

标准2.0英寸(51毫米)透明光圈

可选最大8英寸(200毫米)透明窗口

显微镜  带有LCD 19的监控器或USB摄像头,以及精确的行程

7:1变焦,5 µm分辨率(216倍放大率)

12.5:1变焦,3.4 µm分辨率(508×放大倍率)

16:1变焦,2.2 µm分辨率(626×放大率)

探头行程ST-500-1ST-500-2

X轴

1英寸(25毫米)2英寸(51毫米)

Y轴

1英寸(25毫米)

(使用MW探头时为15毫米)

2英寸(51毫米)

(带MW探头的45毫米)

Z轴10毫米(可选18毫米)10毫米(可选18毫米)
X,Y,Z轴探针平移10微米12.5微米

探头平移分辨率:X,Y,Z轴

具有更高平移分辨率的电动位移台可供选择

5微米6.25微米


UHV-ST-400技术参数

温度范围5K到700K
样品大小直径25mm到50mm(可选100mm)
振动等级<1μm
探针覆盖区域直径14mm到50mm(可选100mm)



ST-SCON技术参数

振动等级<1μm
真空环境约10-5至10-6  mbar
温度范围5K到420K(高温下磁场强度上限降低)
温度稳定性±50 mK

制冷剂消耗量

液氦:约2.5 L/h; 液氮: 小于0.1 L/h(没有外磁场)
3.0T电磁铁(垂直磁场方向)直径10 mm磁场均匀性为5%,工作电流约为35 A
冷却时间 (对于直径为2英寸【50mm】的标准样品座)约2h

预热时间

约3h,带快速预热选项(约5~6小时,无快速预热)

样品座

标准直径2英寸(50毫米)

接地的样品架

带偏置电压同轴电缆的电绝缘样品架

带低温三同轴电缆的三同轴样品座

透光试验用特殊样品座

最多6个可互换的探针臂

DC / LF探头:DC至20 MHz,并提供以下探针针尖:

-半径为0.1至200 µm的钨探针针尖(可选镀金)

-特殊的可弯曲钨制刀柄和焊探针针尖

-铍铜软探针针尖,接触电阻低

同轴线缆:推荐在电流大于1pA时使用

三同轴线缆:推荐电流小于1pA时使用,1V时漏电电流1~2fA

微波探针:0到40 GHz;0至50 GHz的;0至67 GHz的

光纤探头:单模;UV-VIS或VIS-IR多模

光学窗口(不同材料可选)

标准2英寸(51毫米)透明光圈

可选最大3英寸(76毫米)透明窗口

顶部装载防辐射屏窗口(不同材料可选,包括IR吸收材料)

标准2英寸(51毫米)透明光圈

可选最大3英寸(76毫米)透明窗口

超高稳定度、双极、四象限超导磁体直流电源1 mA / h的稳定性,具有可编程的磁场扫描功能和IEEE-488或RS-232接口。 包括数字显示的磁体电流(分辨率为0.1 mA)、磁场、设定点、扫描速率(低至0.1 mA / s)以及磁体或电源电压,内置的持续开关加热器电源以及失超保护/斜坡下降电路。
带有LCD 19的监控器或USB摄像头的Monoscope,以及精确的转换台

6.4:1变焦,5 µm分辨率(216倍放大率)

12.5:1变焦,3.4 µm分辨率(508×放大倍率)

16:1变焦,2.2 µm(626×放大率)

探头行程ST-1ST-2
X轴1英寸(25毫米)2英寸(51毫米)
Y轴

1英寸(25毫米)

(使用MW探头时为15毫米)

2英寸(51毫米)

(带MW探头的45毫米)

Z轴10毫米(可选18毫米)10毫米(可选18毫米)
X,Y,Z轴探针平移10微米12.5微米

探头平移分辨率:X,Y,Z轴

具有更高平移分辨率的电动位移台可供选择

5微米6.25微米