Janis ST-500系列探针台是高性能的研究仪器,旨在为晶片和设备提供经济实惠的真空和低温探测环境。久经考验的ST-500低温恒温器是这些探针台的基础部分,包括低振动技术(最初设计用于高空间分辨率光学显微镜),以提供出色的样品位置稳定性。 世界各地的研究人员正在使用这些系统来进行广泛领域的研究,包括MEMS、纳米级电子学、超导性、铁电学、材料科学和光学。
Janis ST-500系列探针台是高性能的研究仪器,旨在为晶片和设备提供经济实惠的真空和低温探测环境。久经考验的ST-500低温恒温器是这些探针台的基础部分,包括低振动技术(最初设计用于高空间分辨率光学显微镜),以提供出色的样品位置稳定性。 世界各地的研究人员正在使用这些系统来进行广泛领域的研究,包括MEMS、纳米级电子学、超导性、铁电学、材料科学和光学。
● 低振动和低位置漂移
● 温度范围为约3.5 K至475 K(可选:8 K至650 K)(取决于探头)
● 适用于液氮或液氦
● 氦气消耗量小于1 L / h
● 最多可容纳2英寸(51毫米)直径的晶圆(可选:最大8英寸[203毫米])
● 多达七个冷却的、易于替换的微操作探针臂
● 直流至67 GHz的电学测量
● 多种性价比高的LF探针,易于更换
● 极低的三同轴探针臂漏电电流,仅为几fA
● 非接触式、非破坏性的Kelvin探针
● 多头探针
● 带有单模和多模光纤选件的光纤探头臂
● 通过样品架的可选光学通道,用于透射测量
● 到样品区域的带有电缆的附加电气馈通
● 可选的特殊微型真空腔,可将真空下的样品从存储箱安装到探针台
● 适用于所有单筒显微镜系统组件的非常平稳的x-y-z行程平台
● 可选的可移动样品座
● 客户定制选件
● 在为现有的“湿式”探针台寻找无制冷剂的选择吗?可选的循环气体制冷机消除了在“湿式”系统中使用液氦的麻烦。
ST-500-EM
室温,水冷式电磁铁,具有可变的水平磁场,最高可达0.6 T(6000 G),在25毫米直径范围内的磁场均匀度为2%(在10毫米直径范围内均匀度为1%)
多达四个可互换的探针臂
开循环探针台选件,基于低振动的显微镜ST-500低温恒温器
闭循环(无制冷剂)探针台选件
高斯计和霍尔探头测量磁场
可选的单极、高稳定性、风冷电磁体电源
可选的双极,高稳定性,水冷电磁体电源
可选的手动控制,精密旋转平台,最小步进为1度
注意:可能会将基础温度提高几度
可选的attocube纳米定位器旋转平台,最小步进为1毫米
注意:可能会将基础温度提高几度
可选执行电学测量的软件,使用闭循环水平磁场电磁探针系统
可选特殊微型真空腔,可将真空下的样品从手套箱安装到探针台
超高真空探针台
Janis提供了完整的探针台系列,适用于在超高真空环境中进行电气测量。 提供了几种标准设计,并且可以对系统进行自定义配置,以满足各种用户需求。
ST-SCON
ST-SCON模型中的超导磁体可提供高达3 T的可变垂直磁场,在10 mm直径上的磁场均匀度为5%。
ST-500-PM
带有永磁体的ST-500-PM型号可用于磁场相关的测量。这些系统非常适合在各种实验中研究磁光和磁电特性,包括量子点、自旋电子器件和纳米级电子学,可配置为水平或垂直磁场。
平行磁场平行于样品安装平面——两个圆柱形永磁体可产生高达1000 G的可变水平磁场。
垂直磁场垂直于样品安装平面——一组六个环形永磁体可产生300G到2000 G的垂直磁场。
探针台可选配件:
● 额外的可替换探针臂
● 额外的真空腔端口,可用于未来的升级或者安装更多探针臂
● 特殊的微型真空腔,可将真空下的样品从存储箱安装到探针台
● 可移动样品座
● Attocube纳米级线性或者旋转定位器,与探针台配合使用
● 带有电缆和电线的附加电气穿通线到样品区域
● 特殊的光学窗户,包括侧窗和底窗配置以及不同的窗材
● 额外的流量控制阀,流量可变(3.6至72 Torrl / s),可将不同流量的气体导入真空腔
● 系统定制选件
● 自动温度控制器
● 涡轮增压泵站,包括一个备用机械泵或无油隔膜泵
● 泵和探针台之间的泵线隔振器
● 带有或不带有便携式超静音空气压缩机的气动振动隔离台
● 机械泵站,抽氦气排气口,可在4.5 K以下运行
● 带有入口连接器的液氮存储杜瓦瓶,用于连接探针台传输管线
● 低蒸气压热锚固润滑脂
● 在为现有的“湿式”探针台寻找无制冷剂的选择吗?可选的循环气体制冷机消除了在“湿式”系统中使用液氦的麻烦。
ST-500系列技术参数
振动等级 | ±25 nm | |
位置漂移 | 30分钟内±150 nm | |
真空环境 | 常规真空 (~10-5 to 10-6 mbar) 高真空 (~10-6 to 10-7 mbar) 超高真空 (~10-8 to 10-9 mbar) | |
温度范围 | 约3.5 K到475 K (DC探头) (650 K可选) 约3.5 K到450 K (MW探头) (300 K到535 K可选) | |
制冷剂消耗量 | 液氦:小于1 L/h; 液氮: 小于0.1 L/h | |
温度稳定性 | ±50 mK | |
冷却时间 (对于直径为2的标准样品座) | 约30分钟到10K,约60分钟到5K | |
预热时间 | 约45分钟,带快速预热选项(约4小时,无快速预热) | |
样品座 标准直径2英寸(51毫米),最大 203毫米(8英寸) | 接地的样品座 带偏置电压同轴电缆的电绝缘样品座 透光实验专用样品座 无铅芯片载体(LCC)支座 | |
可互换的探针臂 | DC / LF探头:DC至20 MHz,并提供以下探针针尖: -钨探针,探针半径为0.1至200 µm的针尖(可选镀金) -特殊柔性可弯着的钨探针 -铍铜探针,接触电阻低 同轴或三同轴(漏电电流为几fA,1V激励电压)线缆 微波探针:0到40 GHz;0至50 GHz的;0至67 GHz的 光纤探头:单模;UV-VIS或VIS-IR多模 非接触式无损开尔文探针 多尖端探针 | |
光学窗口 | 标准2.0英寸(51毫米)透明光圈 可选最大8英寸(200毫米)透明窗口 | |
显微镜 带有LCD 19的监控器或USB摄像头,以及精确的行程 | 7:1变焦,5 µm分辨率(216倍放大率) 12.5:1变焦,3.4 µm分辨率(508×放大倍率) 16:1变焦,2.2 µm分辨率(626×放大率) | |
探头行程 | ST-500-1 | ST-500-2 |
X轴 | 1英寸(25毫米) | 2英寸(51毫米) |
Y轴 | 1英寸(25毫米) (使用MW探头时为15毫米) | 2英寸(51毫米) (带MW探头的45毫米) |
Z轴 | 10毫米(可选18毫米) | 10毫米(可选18毫米) |
X,Y,Z轴探针平移 | 10微米 | 12.5微米 |
探头平移分辨率:X,Y,Z轴 具有更高平移分辨率的电动位移台可供选择 | 5微米 | 6.25微米 |
UHV-ST-400技术参数
温度范围 | 5K到700K |
样品大小 | 直径25mm到50mm(可选100mm) |
振动等级 | <1μm |
探针覆盖区域 | 直径14mm到50mm(可选100mm) |
ST-SCON技术参数
振动等级 | <1μm | |
真空环境 | 约10-5至10-6 mbar | |
温度范围 | 5K到420K(高温下磁场强度上限降低) | |
温度稳定性 | ±50 mK | |
制冷剂消耗量 | 液氦:约2.5 L/h; 液氮: 小于0.1 L/h(没有外磁场) | |
3.0T电磁铁(垂直磁场方向) | 直径10 mm磁场均匀性为5%,工作电流约为35 A | |
冷却时间 (对于直径为2英寸【50mm】的标准样品座) | 约2h | |
预热时间 | 约3h,带快速预热选项(约5~6小时,无快速预热) | |
样品座 标准直径2英寸(50毫米) | 接地的样品架 带偏置电压同轴电缆的电绝缘样品架 带低温三同轴电缆的三同轴样品座 透光试验用特殊样品座 | |
最多6个可互换的探针臂 | DC / LF探头:DC至20 MHz,并提供以下探针针尖: -半径为0.1至200 µm的钨探针针尖(可选镀金) -特殊的可弯曲钨制刀柄和焊探针针尖 -铍铜软探针针尖,接触电阻低 同轴线缆:推荐在电流大于1pA时使用 三同轴线缆:推荐电流小于1pA时使用,1V时漏电电流1~2fA 微波探针:0到40 GHz;0至50 GHz的;0至67 GHz的 光纤探头:单模;UV-VIS或VIS-IR多模 | |
光学窗口(不同材料可选) | 标准2英寸(51毫米)透明光圈 可选最大3英寸(76毫米)透明窗口 | |
顶部装载防辐射屏窗口(不同材料可选,包括IR吸收材料) | 标准2英寸(51毫米)透明光圈 可选最大3英寸(76毫米)透明窗口 | |
超高稳定度、双极、四象限超导磁体直流电源 | 1 mA / h的稳定性,具有可编程的磁场扫描功能和IEEE-488或RS-232接口。 包括数字显示的磁体电流(分辨率为0.1 mA)、磁场、设定点、扫描速率(低至0.1 mA / s)以及磁体或电源电压,内置的持续开关加热器电源以及失超保护/斜坡下降电路。 | |
带有LCD 19的监控器或USB摄像头的Monoscope,以及精确的转换台 | 6.4:1变焦,5 µm分辨率(216倍放大率) 12.5:1变焦,3.4 µm分辨率(508×放大倍率) 16:1变焦,2.2 µm(626×放大率) | |
探头行程 | ST-1 | ST-2 |
X轴 | 1英寸(25毫米) | 2英寸(51毫米) |
Y轴 | 1英寸(25毫米) (使用MW探头时为15毫米) | 2英寸(51毫米) (带MW探头的45毫米) |
Z轴 | 10毫米(可选18毫米) | 10毫米(可选18毫米) |
X,Y,Z轴探针平移 | 10微米 | 12.5微米 |
探头平移分辨率:X,Y,Z轴 具有更高平移分辨率的电动位移台可供选择 | 5微米 | 6.25微米 |