上海懿宏科学仪器有限公司
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离子泵的发展史
从上世纪五十年代，由瓦里安公司首先发明的溅射离子泵问世以来，越来越多的新设计和新技术投入使用，其中大部分源自 瓦里安公司，即现在的安捷伦科技。从二极型离子泵，到三极型离子泵，再到Starcell 系列产品乃至闻名的VacIon Plus 产品家族等。41.png

 

VacIon Plus

• VacIon Plus 是安捷伦科技旗下的知名的离子泵产品家族，包括全系列离子泵、 控制电源、可选配件及附件。可为各种应用提供相应解决方案。除标准产品外， 安捷伦科技还为特定应用提供包括电源及相关附件在内的专属解决方案，以满足 用户对起始工作压强、离子泵工作范围以及不同成份混合气体等指标的特殊要求。

• VacIon Plus 离子泵产品家族拥有Diode 二极型、Noble Diode 钽阴极二极型以 及Starcell 三极型泵在内的全系列产品，以超高真空获得技术为众多应用 领域服务。除MiniVac 和Dual 两款离子泵电源外，新4UHV 离子泵控制器则 为不同应用提供了更为丰富的选择。

 

钛升华复合型离子泵
• 钛升华复合型离子泵将两种抽气原理合二为一：
钛升华过程针对活性气体提供了极高的抽速，而同时Starcell 离子泵则有效清除如 氩气等惰性气体和甲烷等非活性气体。复合型泵通过额外的法兰将钛升华泵源以 及低温筒集成在泵体当中。安捷伦科技还可针对客户的特殊需求提供定制产品。


 低温测量仪器 低温测量仪器
各种抽速范围的离子泵
• 微型泵抽速范围从0.2 到10 l/sec
• 中小型泵抽速范围从20 到75 l/sec
• 大型产品抽速范围从150 到1000 l/sec
• 钛升华复合型离子泵
• 其他满足用户定制需要的特殊型号		高真空处理工艺
安捷伦真空采用了严格的高真空处理工
艺来确保离子泵的卓越品质：
• 离子泵泵体及所有内部材料均经过严格
的超高真空环境下450ºC 高温除气
• 每台离子泵出厂前均经过RGA 分析，
并在真空密封条件下封装出厂

 

 

 

低温测量仪器

 

①单元结构和绝缘材料
• 优化设计的单元结构尺寸和形状
－ 放电强度
－ 抽气速度
• 特别设计的陶瓷绝缘材料
－ 避免导电材料在绝缘材料上的溅射沉积
－ 确保更长的离子泵使用寿命		 低温测量仪器
②抽气单元
三种不同的抽气单元可以满足抽除种混合气体和特殊应用的要求
• 二级泵
• Noble 二级泵（钽）
• 拥有专利的StarCell 三级泵		 低温测量仪器
③烘烤加热装置
• 可选配相应的烘烤加热装置，以更妥善地烘烤泵体
• 简化操作过程		 低温测量仪器
④高压电源线
• 新型的高压电源线具有“高压安全互锁”功能，以避免潜在的放电风险
• 当电源线从泵体断开时自动切断高压输出
• 可根据用户需要定制相应长度
• 可靠，灵活的金属套装线缆
• 耐受幅射能力107 Gy		 低温测量仪器
⑤高压端子
• 防腐材料
• 具有“高压引线互锁”功能
• 易于连接
• 防脱落设计
• 优化的尺寸		 低温测量仪器
⑥根据用户特殊要求设计定制
根据用户需求可提供定制设计的泵体结构：
• 低温筒和钛升华泵可选择侧向或底部安装
• 定制复合吸气剂(NEG) 模块的离子泵
• 集成加热烘烤装置
• 扩展接口		 低温测量仪器



Miniature Pump
2 l/s Pump
10 l/s Pump
Vaclon Plus 20
Vaclon Plus 40
Vaclon Plus 55
Vaclon Plus 75
Vaclon Plus 150
Vaclon Plus 300
Vaclon Plus 500
进气口法兰



2 3/4”OD CFF (NW 35)
2 3/4”OD CFF (NW 35)
4 1/2”OD CFF (NW 63)
6” OD CFF (NW 100)
6” OD CFF (NW 100)
8” OD CFF (NW 150)
8” OD CFF (NW 150)
组件类型
Diode
Diode
Diode
StarCell Noble Diode Diode
StarCell Noble Diode Diode
StarCell Noble Diode Diode
StarCell Noble Diode Diode
StarCell Noble Diode Diode
StarCell Noble Diode Diode
StarCell Noble Diode Diode
抽速(l/s)
(Saturated Pump at 1-6 mbar)
氮气
0.2
2
10
20
22
27
34
36
40
50
53
55
65
68
75
125
135
150
240
260
300
410
440
500
工作寿命(Hours) (at 1-6 mbar)
N/A
8000
40000
80
50
50
80
50
50
80
50
50
80
50
50
80
50
50
80
50
50
80
50
50
最大启动压力(mbar)
1x10-4
1x10-4
≤1x10-4
10-2
10-3
10-3
10-2
10-3
10-3
10-2
10-3
10-3
10-2
10-3
10-3
10-2
10-3
10-3
10-2
10-3
10-3
10-2
10-3
10-3
最大烘烤温度(°C)
400 (without magnet)
150 (with magnet)
400 (without magnet)
150 (with magnet)
350
350
350
350
350
350
350
350
350
350
350
350
350
350
350
350
350
350
350
350
350
350
重量kg (Ibs)
Net 0.3 (0.66)
Shipping 0.6 (1.33)
Net 0.3 (0.66)
Shipping 0.6 (1.33)
Without magnet4 (9)
Net 7 (15)
Shipping 11 (24)
Net 17 (37)
Shipping 21 (46)
Net 18 (39)
Shipping 22 (48)
Net 19 (42)
Shipping 23 (51)
Net 43 (94)
Shipping 53 (110)
Net 69 (149)
Shipping 84 (185)
Net 120 (264)
Shipping 135 (297)
半导体行业认证
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