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安捷伦涡旋式干泵采用两个涡旋盘复合成的机械结构,由一个涡旋嵌入另一个涡旋并转动来捕集气体。进入涡旋槽内的气体被移动压缩到涡旋的中心并被排出。涡旋式干泵具有噪音低,震动小,结构简单,运行稳定,维护间隔周期长等优点,而且不易发生可能引起灾难性后果的突发的故障。 气体进入涡旋内
涡旋式干泵介绍
安捷伦涡旋式干泵采用两个涡旋盘复合成的机械结构,由一个涡旋嵌入另一个涡旋并转动来捕集气体。进入涡旋槽内的气体被移动压缩到涡旋的中心并被排出。涡旋式干泵具有噪音低,震动小,结构简单,运行稳定,维护间隔周期长等优点,而且不易发生可能引起灾难性后果的突发的故障。
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气体进入涡旋内 | 气体被移动 | 气体所被压缩向涡旋中心移动 | 气体从中心被出 |
小型涡旋干泵IDP-2,IDP-3 和SH-110 采用单级设计体积小,重量轻,价格低,维护保养周期间隔时间长,运行稳定,是很多应用领域的不错选择,如分析仪器,科研等。
安捷伦Triscroll 和变频Triscroll 涡旋式干泵为双级涡旋式干泵,目前市场上远超同行的干泵。
![]() | 变频驱动Triscroll 涡旋泵,在全球范围的各种电网频率下都可以提供同样抽速。变频电机可以通过调节泵的转速来达到您所需的抽速;通过RS232 的9 针通信口与控制系统连接,可以远程控制泵的开启/ 停止,并可读取真空泵各项参数(转速、温度、功率、运行时间等)。 |
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单极涡旋式干泵
| 运行可靠性高 目前,安捷伦在全球有超过20,000 台涡旋式干泵在使用,足以证明安捷伦涡旋式干泵技术具有超越客户期望的稳定性。 | 享有专利的Triscroll 设计
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① | ![]() | 内置安全隔离阀—SH-110 异常断电或损坏时,安全隔离阀门可以立即关闭,隔离真空泵与真空系统,以防止对真空系统造成损坏或污染。 | ④ | ![]() | 轴承充气口 仅Triscroll 泵使用干燥的气体吹扫轴承,提高了真空泵对可冷凝气体的承受能力。 |
② | ![]() | 计时器 SH-110 为标配,IDP-2,IDP-3 为可选配件,显示真空泵运行的总时间,可合理安排维护保养计划。 | ⑤ | ![]() | 自动气镇阀 安捷伦所有的涡旋式干泵提高了真空泵对水蒸气和其他可冷凝气体的排出能力,以保证真空泵性能稳定。 |
③ | ![]() | 过流保险和电压转换按钮-SH-110
| 电源开关转换 操作简便 | IEC320 电源连接 可提供各式的电源连接插头以适应各地安装的需要。 |
IDP-2 | IDP-3 | IDP-15 | IDP-110 | TriScroll 300 | TriScroll 600 | TriScroll 300 Inverter | TriScroll 600 Inverter | TriScroll 800 Inverter | |||
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抽速 | 60 Hz l/min,m3/h,cfm | 35,2.1,1.2 | 60,3.6,2.1 | 256,15.4,9.1 | 110,6.6,4.0 | 250,15,8.8 | 500,30,17.7 | 250,15,8.8 | 500,30,17.7 | 760,48,28.3 | |
50 Hz l/min,m3/h,cfm | 30,1.8,1.1 | 50,3.0,1.8 | 214,12.8,7.6 | 90,5.4,3.3 | 210,12.6,7.4 | 420,25.2,14.8 | |||||
极限压强mbar (Torr) | 1.0(7.5x10-1) | 3.3x10-1 | 13.3 x 10–3 (10 x 10–3) | 6.6 x 10–2 (5 x 10–2) | 1.3 x 10–2 (1 x 10–2) | 9.3 x 10–3 (7 x 10–3) | 1.3 x 10–2 (1 x 10–2) | 9.3 x 10–3 (7 x 10–3) | <1.3 x 10–1 (1.0 x 10–1) | ||
最大进气口压力atm (psig) | 1.0(0) | 1.0 (0) | 1.0 (0) | 1.0 (0) | 1.0 (0) | 1.0 (0) | 1.0 (0) | 1.0 (0) | 1.0 (0) | ||
最大排气口压力atm (psig) | 1.4(6.5) | 1.4 (6.5) | 1.4 (6.5) | 1.5 (7.5) | 1.1 (1.5) | 1.1 (1.5) | 1.1 (1.5) | 1.1 (1.5) | 1.1 (1.5) | ||
进气口法兰 | NW16 | NW16 | NW25 | NW25 | NW25 | NW40 | NW25 | NW40 | NW40 | ||
排气口法兰 | ? ” Female NPT (10 mm hosebarb provided) | ? ” Female NPT (10 mm hose barb provided) | NW16 | ? ” Female NPT (10 mm hose barb provided) | ? ” Female NPT with swivel (NW16 adapter provided) | ? ” Female NPT with swivel (NW25 adapter provided) | ? ”Female NPT with swivel (NW16 adapter provided) | ? ” Female NPT with swivel (NW25 adapter provided) | ? ” Female NPT with swivel (NW25 adapter provided) | ||
气镇 | ? ” Female NPT (20 micron sintered plug provided) | ? ” Female NPT (20 micron sintered plug provided) | 1/4"NPT(2个) | ? ” Female NPT (20 micron sintered plug provided) | ? ” Female NPT (40 micron sintered filter provided) | ? ” Female NPT (40 micron sintered filter provided) | ? ”Female NPT (40 micron sintered filter provided) | ? ” Female NPT (40 micron sintered filter provided) | ? ” Female NPT (40 micron sintered filter provided) | ||
电机功率(1phase),HP(kW) | 0.16(0.12) | 0.16 (0.12) | 0.75 (0.56) | 0.25 (0.19) | 0.75 (0.56) | 1.0 (0.76) | 0.67 (0.5) | 0.67 (0.5) | 1.0 (0.75) | ||
1ø | 60 Hz | 100,115, 220-230V | 100,115, 220-230V | 100, 115, 220-230 V | 100-115, 200-230 V | 100-115, 200-230 V | 100-115, 200-230 V | 100-115, 200-240 V | 200-240 V | 200-240 V | |
50 Hz | 100, 220-230V | 100, 220-230V | 100, 220-230 V | 100-115, 200-230 V | 100-115, 200-230 V | 100-115, 200-230 V | 100-115, 200-240 V | 200-240 V | 200-240 V | ||
3ø | 60 Hz | – | – | – | – | 200-230, 460 V | 200-230, 460 V | – | – | – | |
50 Hz | – | – | – | – | 200-230, 380-415 V | 200-230, 380-415 V | – | – | – | ||
操作电压(610%) | 24 VDC | 24 VDC | 24 VDC | ||||||||
电机热保护 | Type U automatic | Type U automatic | Type U automatic | Type U automatic | Type U automatic | Type U automatic | Automatic | Automatic | Automatic | ||
转速 | 60 Hz (rpm) | 3200 | 3200 | 1725 | 1725 | 1725 | 1725 | ||||
50 Hz (rpm) | 2600 | 2600 | 1450 | 1450 | 1425 | 1425 | 1800 @ 62 Hz | 1800 @ 62 Hz | 1800 @ 62 Hz | ||
冷却系统 | 风冷 | 风冷 | 风冷 | 风冷 | 风冷 | 风冷 | 风冷 | 风冷 | 风冷 | ||
工作环境温度°C (°F) | 5 to 40 (41 to 108) | 5 to 40 (41 to 108) | 5 to 45 (41 to 113) | 5 to 40 (41 to 104) | 5 to 40 (41 to 104) | 5 to 40 (41 to 104) | 5 to 40 (41 to 104) | 5 to 40 (41 to 104) | 5 to 40 (41 to 104) | ||
存储温度°C (°F) | -20 to 60 (-4 to 140) | -20 to 60 (-4 to 140) | 5-60 | -20 to 60 (-4 to 140) | -20 to 60 (-4 to 140) | -20 to 60 (-4 to 140) | -20 to 60 (-4 to 140) | -20 to 60 (-4 to 140) | -20 to 60 (-4 to 140) | ||
重量kg (lbs) | 9.5 (21) | 9.5 (21) | 34 (75) | 19 (43) | 26.4 (57) | 32 (70) | 26 (57) | 31 (68) | 32 (71) | ||
运输重量kg (lbs) | 10.5 (23) | 10.5 (23) | 45 (100) | 20 (44) | 34.2 (75) | 40 (87) | 34 (74) | 39 (85) | 42 (92) | ||
噪声(per ISO 11201),dB(A) | 55 | 55 | 50 | 56 | 68 | 68 | Variable with frequency 55-68 | Variable with frequency 55-68 | Variable with frequency, 58-71 | ||
振动水平(per ISO 10816-1) mm/sec | 1.5 | 1.5 | <9 mms/rms | 1.5 | 6.3 | 6.3 | Variable with frequency | Variable with frequency | Variable with frequency |
进气口用过滤器 安捷伦涡旋式干泵进气口过滤器可以保护干泵免于吸入颗粒物,并且防止颗粒物迁移至泵外。此高效过滤器捕获大于0.3 微米颗粒物的有效性达99.97%。 | ![]() | TriScroll 干泵出气口过滤器 空气过滤器用于避免颗粒物和粉尘进入超净间。套件包含过滤器,转接头,中心密封圈及卡箍。此高效过滤器捕获大于0.3 微米颗粒物的有效性达99.97%。内部滤网可以更换。 | ![]() | |
用于变频TriScroll 干式泵的CT-100 转速控制套件 CT-100 转速控制套件可以使干泵从全抽速到较低抽速进行抽速调整。干泵工作在较低抽速可以减小噪声并且延长保修周期。转速控制套件包含一个CT-100 主动式真空计,一根通信线缆,一个24V 电源,电源线,三通,中心圈和卡箍。设定点由用户自行设置。 • 当压力高于设定点(SP1) 时–> 干泵处于全抽速* | ![]() | 带隔断阀的CT-100 转速控制套件 在一些真空应用中,突然断电会对真空系统造成很大影响,可以使用隔断阀来保护真空系统。安捷伦提供带隔断阀的转速控制套件。套件中包含CT-100 和VPI 阀的线缆。 | ||
安捷伦可以为全部干泵提供隔离阀,用于保护真空系统。 用于涡旋泵的真空隔断阀 SH-110 内置隔断阀,在突然断电或关机的情况下保护真空泵。泵开启10 秒后阀门自动开启。此时间内在隔离阀和泵间真空度建立。这样可以可以避免突发故障引起的颗粒物进入真空之中。安捷伦为IDP 系列真空泵提供同款隔断阀,操作方法与SH 110 隔断阀相同。 |
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TriScroll 干泵氮气保护装置 氮气保护装置可以通过氮气吹扫接口安全有效地对轴承充入氮气,或通过气镇接口对排气口部分充入氮气。如需稀释排出气体,可使用气镇吹扫。抽出可凝气体时建议使用此功能。 此装置包含流量计、手动调节阀、管路以及连接件。流量计或直接装于泵体侧面。建议气镇和轴承的吹扫设置流量为5l/min。 | ![]() | 用于TriScroll 涡旋泵的真空隔断阀 隔断阀可以有效防止突发情况下微粒返流。TriScroll 系列干泵可以选配隔断阀,在突然断电或关机时,有效隔断真空室与真空泵,可以在控制下对真空泵进行放气。当供电恢复时,真空泵释放隔断阀,只有在到达一定真空度时才会完全打开隔断阀。这一操作可以在供电恢复时对重启过程进行保护。 | ![]() | |
排气口消音器组件
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| 离减震支架
需要注意的是,安装此减震支架替代原标配支架后,TriScroll | ![]() | |
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涡旋式干泵维护套件
描述 | 订货号 |
IDP Series | |
Tip seal kit | IDP3TS |
Replacement module | IDP3 |
IDP-15 Tip Seal Replacement Kit | X3815-67000 |
SH-110/SH-100 | |
Tip seal replacement kit | SH0110TS |
TriScroll 300/600 and TriScroll Inverter Pumps | |
TriScroll 300 exhaust extension | S4707002 |
TriScroll 300 maintenance kit | PTSS0300MK |
TriScroll 600 maintenance kit | PTSS0600MK |
TriScroll 300/600 maintenance tool kit | PTSS0600TK |
TriScroll 300 replacement tip seal kit | PTSS0300TS |
TriScroll 600 replacement tip seal kit | PTSS0600TS |
TriScroll 300/600 tip seal tool kit | PTSTSTKIT |
TriScroll 300/600 three phase cable kit | S478900 |
Exchange and Replacement Pumps | |
Exchange SH-110 scroll pump | EXSH01101UNIV |
Exchange SH-100 scroll pump | EXSH01001UNIV |
Exchange TriScroll 300 pump module | EXPTS0300SC |
Replacement TriScroll 300 pump module | S4700304 |
Exchange TriScroll 600 pump module | EXPTS0600SC |
Replacement TriScroll 600 pump module | S4800304 |
Exchange TriScroll 300 pump 300 pump, 1Ø | EXPPTS03001 |
Exchange TriScroll 300 pump 300 pump, 3Ø | EXPPTS03003 |
Exchange TriScroll 300 pump 600 pump, 1Ø | EXPPTS06001 |
Exchange TriScroll 300 pump 600 pump, 3Ø | EXPPTS06003 |