2017-11-01 15:53:33 由 admin 发表
所谓扎针,就是指将探针接触需要测量的样品表面或者电极表面,形成通路。
使用探针臂三轴控制摇杆,移动探针位置,通过探针台的顶部窗口观察探针位置,直到探针大概在需要接触的位置的上方,适当降低探针位置,使用CCD系统观察探针和需要接触的表面或者电极的相对位置,确认探针在需要接触的位置的上方后,探针臂Z轴控制摇杆缓慢下落探针,从监视器上观察探针的针尖,针尖在屏幕上逐渐清晰,直到形成清晰的图像,当探针与样品表面或者电极接触到时,探针尖会有微小的往探针尖方向的位移,所以探针已经接触到样品表面,即完成了该探针的扎针动作。可以通过测量IV曲线确认探针是否与样品表面接触良好。
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