2022-04-12 09:52:43 由 yihong 发表
CPX 型采用模块化设计,可满足广泛实验的需求,是 Lake Shore 最通用的高性能低温探测站。CPX 上的各种选项和配置使研究人员能够进行严格的、具有挑战性的测试测量。CPX 具有多个辐射防护罩,可提供 Lake Shore 最佳的低温性能,其配置使样品温度可低至 1.6 K。整个站的多个温度传感器确保准确、重复的测量。
由于分流设计,样品在屏蔽罩冷却时保持温暖,再加上高真空选项,可最大限度地减少冷却过程中的样品冷凝——这是测量亲水有机材料的关键要求。理想的应用包括有机物研究和微波测量。真空负载锁可配置用于进行高通量测量。此外,CPX 可以配置为能够在真空下将受控样品传输到腔室。CPX 可容纳 51 毫米(2 英寸)直径的晶圆(最大 102 毫米 [4 英寸] 可选)。该系统使用液氦或液氮运行。
CPX 型高性能探针台的特点
Lake Shore最通用的探测站
提供多种选项和配置
多重辐射屏蔽,可实现最佳低温性能
在冷却过程中最大限度地减少样品冷凝
可定制用于不暴露于大气的样品转移
可定制以容纳 4 英寸晶圆