2023-04-13 09:11:24 由 yihong 发表
Lake Shore 的 FWPX 探针台专为需要大尺寸晶圆探测的研究人员而设计。FWPX 可容纳直径达 102 毫米（4 英寸）的晶圆，并且可以进行修改以接受最大 152 毫米（6 英寸）的晶圆。这种通用探针台专为研究人员或工程师设计，可对大型样品进行材料表征测试。它也是测量有机材料的有效单位。
FWPX 采用连续制冷系统，使用液氦或液氮冷却晶圆。它的工作温度范围为 4.5 K 至 475 K，可选择将基准温度扩展至 3.5 K。IV、CV 和微波测量是标准配置。该工作站最多可配置六个热锚定微操纵探针臂，并针对光电测试进行了优化设计。
FWPX型大尺寸晶圆探针台的特点
最大晶圆样本尺寸：4 英寸
用于快速探测的示例翻译
可定制以接受 6 英寸晶圆
