2023-04-14 09:17:15 由 yihong 发表
使用您的探针台做更多事情
扩展您的 CRX-VF 站以扩展您的研究能力。 PS-HM-8425 套件提供 Lake Shore 8400 系列的所有仪器和软件，因此您可以在探针台上实施霍尔效应测量功能。
使用该套件，您可以运行霍尔电压、霍尔系数、霍尔迁移率、电阻和 IV 曲线测量。 通过材料的激发能量识别材料载体，并了解主要机制，无论是霍尔杆几何形状还是执行门控霍尔杆测量。
PS-HM-8425 还利用了工作站的功能，因此您可以：
测量最大 51 毫米（2 英寸）的全部或部分霍尔晶圆
测量多个样品，与一次只能加载一个样品的传统霍尔系统相反
探测容易受到污染、对空气有反应或可能需要初始加热以驱除水分的微小结构
自动化* 与温度相关的霍尔测量以提高实验室效率
测量多层霍尔结构作为器件开发的一部分
轻松将霍尔测量功能添加到您的探针台
在您的 CRX-VF 站中启用 8400 系列霍尔测量的完整解决方案
支持对晶圆级材料和结构进行一系列 DC 霍尔测量，作为温度和场的函数
包括所有用于促进霍尔测量的仪器和软件
支持高达 2 T 的直流场和 0.5 mΩ 至 100 GΩ 的电阻
直观的软件提供简单的系统操作、数据采集和分析
支持导出数据进行多载波分析
霍尔测量软件的强大功能
该解决方案为您的 CRX-VF 控制台添加了多种仪器，包括开关矩阵、电流源和电压表。 然而，真正强大的是 8400 系列 HMS 软件，它位于随包提供的 PC 上。
这种下一代霍尔测量软件可简化系统操作，提供一套数据采集和分析工具，并允许您在以自动化方式运行霍尔测量时控制场、样品温度和样品激发。
8400 HMS 测量结果屏幕示例
值得注意的软件功能：
支持 van der Pauw 和 Hall bar 测量，并使用门控 Hall bar 测量样品以考虑栅极偏置——非常适合器件级材料测量。
只需单击三下鼠标即可创建可变温度霍尔测量。
在您方便的时候开始和结束测量，以及设置时间循环以根据计划重复测量。
轻松地将电阻测量插入霍尔测量序列。
使用快速命令“Go to Temperature”、“Go to Field”、“Go to GBV”（栅极偏置电压）和“Wait”，让系统在继续之前暂停并稳定下来
在实验开始时执行电阻测量——例如，当您需要快速进行初始样品检查以确定可用电流时非常有用。
支持多载波分析的数据导出。
最低 CRX-VF 配置要求
CRX-VF 探针台必须配置以下最低硬件配置：
4 个探头臂 (MMS-09)，带有探头主体支架 (ZN50-55i) 和电缆 (ZN50C-T)
隔离样品架（SH-1.25-I 或 SH-2.00-I）
FT-TRIAX 馈通
