2022-12-23 09:14:27 由 yihong 发表
新的! 用于低温应用的太赫兹频率接触式探测
用于在 Lake Shore 低温探测站中以太赫兹频率(75 GHz 及以上)对毫米波器件进行精确的晶圆上接触探测
为下一代电子研发开辟新的测量可能性
与具有合适频率扩展器的网络分析仪集成
能够在低温和磁场中执行校准的 S 参数和其他高频电气测量
将两个太赫兹探头臂与标准直流/射频/微波探头臂组合在一起,总共可同时连接 6 个接触探头
突破性解决方案,仅可从 Lake Shore Cryotronics 获得
3 年标准保修
低损耗太赫兹波导
高频接触测量需要仔细考虑信号传入和传出被测设备的方式。 随着频率上升到 75 GHz 以上并进入以前无法达到的太赫兹区域,使用现有波导在短至几厘米的路径上信号可能会迅速恶化。
室温探测解决方案通常通过最小化频率扩展器源/检测器模块和探头之间的路径长度来解决这个问题。 然而,在笨重的模块侵入样品空间之前,连接波导只能减少这么多,从而使手臂的移动变得复杂,并限制了添加其他探头的选择。
在低温探针台中,需要更长的信号路径(大约 25 厘米)来穿过该台的真空室和内部结构。 Lake Shore 的新型太赫兹低温探头臂及其专门开发的低损耗太赫兹频率波导确保了这些较长跨度内的出色信号完整性。
太赫兹低温探测解决方案的组件
探测臂
THz 低温探测臂是 Lake Shore 探测站的高频探测选项。 它可以安装在兼容工作站上的臂位置 2 或 5。 该选件包括带不锈钢焊接波纹管的 3 轴微操作平台,包括:
具有集成 theta 平面化功能的探针臂和底座
一个直流偏置端口
温度传感器(用于连接探头)
配置为与第三方频率扩展器一起使用的馈通端口和安装平台
高频波导(选择与频率扩展器的带宽相匹配,见下文)
Lake Shore 仅提供探头臂。其他所需组件是频率扩展器和探头,它们由第三方提供,如下所述。
频率扩展器
目前,Lake Shore 探针臂支持 Virginia Diodes, Inc. (www.vadiodes.com) 的 MiniVNAX 扩展器。 VDI 扩展器模块可与来自 Keysight、Anritsu 和 Rohde & Schwarz 等供应商的大多数现代矢量网络和信号分析仪配合使用。 VDI 模块提供一系列频段,每个频段需要略有不同的输出耦合配置。 Lake Shore 的波导拓扑结构必须与扩展模块的频段相匹配。
目前,Lake Shore 提供兼容以下 VDI 频段的探头臂:
WR-10(75 至 110 GHz)
WR-5.1(140 至 220 GHz)
可以容纳其他频段和其他类型的频率扩展器模块——请联系 Lake Shore 了解您的需求。
探测
THz 低温探针臂支持由 Dominion Microprobes 开发的定制探针。 这些 T-Wave™ 探头可从 Cascade Microtech 或 Lake Shore 获得。
微加工 GSG 探头具有与 DUT 的低插入损耗耦合和探测电路的直流偏置。 探头经过低温认证和热锚定,以最大限度地减少向 DUT 的热传递。连接传感器以监测探头温度。
规格
变温高频研究
Lake Shore 的太赫兹低温探头臂能够在早期研究人员所需的极低温度(和高磁场)下执行校准 S 参数和其他高频测量。 这为射电天文学和量子计算等领域的下一代电子研发开辟了新的测量可能性。
使用安装在 Lake Shore CPX-VF 探针台上的 WR-5.1 波段探针臂在室温(上)和 4 K(右)下进行的 S21 测量
S 参数测量
散射参数(S 参数)描述了器件在稳态行波电流和电压信号下的频率相关电气行为。可以使用单端口或双端口配置。基于信号方向(传输/ 接收)、反射(S11、S22)和传输(S12、S21)组件是独立测量的,以提供完整的设备配置文件。