2023-03-31 09:17:36 由 yihong 发表
TTPX 探针台是一种经济实惠的入门级探针台,能够进行各种无损的标准电气设备测量。紧凑的桌面设计非常适合学术和实验室研究环境。此款探针台是Lake Shore用于光电材料表征的优质设计,具有背面光学访问选项和兼容的光学样品架。I-V、C-V 和微波测量是 TTPX 的标准选项。它的多功能性和可负担性使TTPX成为世界各地许多研究人员的首选工具。
TTPX 通过使用液氦或液氮的连续制冷系统提供高效的低温操作和控制。
TTPX 的工作温度范围为 4.2 K 至 475 K,可选择低至 3.2 K 或 20 K 至 675 K 的更高范围。该探针台可容纳直径达 51 毫米(2 英寸)的全晶圆和部分晶圆。 另外,多种探头、电缆、样品架和选件可供选择,可满足特定的测量应用。
产品功能要求:
TTPX低温探针台可最多安装6个微操作探针臂,4英寸样品座,支持最大2英寸样品,探针台主要
配置如下:
低温探针台:4.2K到475K(可控温度),样品座带有50W加热器,防辐射屏带有100W加热器;
LakeShore公司的336型温度控制器一台;
辐射屏完全包围样品,并带有红外吸收视窗;
固定支架:集成式被动和阻尼隔振支架;
3颗LakeShore公司温度传感器:1颗安装在探测臂上、1颗安装在样品座上,1颗安装在防辐射屏上:
接地样品座:可容纳032mm(1.25in)样品,025mm(1in)探测区域;
光学:7:1变焦显微镜,彩色CCD相机,摇臂,监视器;
样品照明:可调节亮度的同轴光源和环形光源,含电源设备;
高效率的氦气输送管道,配有胶阀,用于精确的流量调节
控温稳定性:优于士100mK;(80K、100k、475K)
探针臂数量:4个(可定制6个);
漏电流测试精度低于100fA;
探针臂的可移动距离X方向≥50mm,Y方向≥25mm,Z方向≥15mm;