2022-01-26 14:54:37 由 yihong 发表
除了我们广泛的标准低温探针台产品线外,Lake Shore 还可以与您一起设计定制探针台,以满足您的特定实验要求。有关定制产品的一些示例,请参见下文。
无冷剂超导磁体探针台
3 T 或 5 T 垂直磁场
2 K 至 420 K(室温以上减弱的最大场)
用于零场测量的可选 6.5 英寸直径样品架
样品台振动<1 µm
定制液氦/液氮冷却探针台
最多 8 个样本大小
探针臂和隔离样品架上的电压高达 3 kV
~3.5 K 至 475 K(675 K 可选);自定义选项可能会有所不同——请咨询 Lake Shore
样品台上的 25 nm 振动
室温真空探针台
300 K 至 500 K(675 K 选项)
2 英寸直径样品架,带有标准臂和视觉选项
微型、可移动的真空室
Lake Shore 还提供微型、可运输的样品真空室,能够在通过大气环境运输期间将样品保持在真空中。真空室可用于在真空下将晶圆/基板从具有特殊环境的手套箱中转移到真空或低温微操作探针台(或进入真空室)中,并在测试、测量或准备工作。这种可移动的真空室可保护晶圆/基板在装载和卸载时免受大气污染。
与常见的真空负载锁定不同,真空室具有以下特点和优点:
典型尺寸为 50 毫米直径和 25 毫米厚度
无需闸阀
非常方便和容易操作
低成本
在不增加低温探针台基础温度的情况下安装可移动样品架