2021-08-23 09:18:28 由 yihong 发表
Janis 无冷冻剂系列探针台为研究人员提供真空和低温探测能力，而无需使用液体冷冻剂。4 K、10 K 和 80 K 低温冷却器使用经过验证的 Gifford-McMahon (GM) 技术来实现可靠且经济实惠的样品冷却。典型应用包括 MEMS、纳米电子、超导、铁电、材料科学和光学。
小于 1 µm 的振动
温度范围（安装 4 个探头臂）从 4.5 K 到 350 K（可选：6.5 K 到 475 K 或 6.5 K 到 675 K）
可容纳最大 2 英寸（51 毫米）直径的晶圆（可选：最大 8 英寸 [200 毫米]）（有关更多详细信息，请参阅规格表）
多达八个冷却、易于互换、微操作的探针臂
从 DC 到 67 GHz 的电气测量
多种廉价的 LF 探头尖端，易于更换
极低的三轴探头臂漏电流（通常在 1 V 时为 1 至 2 fA）
非接触式、无损开尔文探头
多尖探头
具有单模和多模光纤选项的光纤探针臂
带有电缆和电线的额外电气馈通到样品区域
可选的特殊微型真空室在真空下将样品从手套箱转移到探针台
适用于所有单镜系统组件的精确平移 xyz 移动台
可选的可移动样品架
系统定制选项
振动等级：小于 1 µm
真空环境：1E -5至 1E -6 mbar
温度范围* 使用四个探头臂：CCR4： ~4.5 K 至 350 K
（可选：6.5 K 至 475 K 或 6.5 K 至 675 K）
CCR5： ~5.5 K 至 350 K
（可选：7.5 K 至 475 K 或 7.5 K 至 675 K）
CCR10： ~9 K 至 350 K
（可选：11 K 至 475 K 或 11 K 至 675 K）
CCR12： ~11 K 至 350 K
（可选：13 K 至 475 K 或 13 K 至 675 K）
* 使用两个探头臂降低基础温度 CCR80： ~80 K 至 350 K
（可选：82 K 至 475 K 或 82 K 至 675 K）
温度稳定性：±50 mK
冷却时间 （标准 2 英寸样品架和 325 K 最高温度）：~4 到 5 小时
预热时间：约 90 分钟，带快速预热选项（约 5 小时不带）
样品安装座：接地样品架
2 英寸（51 毫米）直径标准到 4 英寸（101 毫米）可选：带偏置电压同轴电缆的电隔离样品架 带低温三轴电缆的三轴保护样品架，无铅芯片载体 (LCC) 架
可互换的探针臂：DC/LF 探头： DC 至 20 MHz，提供以下尖端：
- 尖端半径为 0.1 至 200 µm 的钨尖端（可选镀金）
- 特殊的钨可弯曲柄和尖端（猫须）尖端
- 低接触电阻的铍铜软尖端
同轴或三轴（1 V 漏电流时通常为 1 至 2 fA）接线
1 V 时 0.5 pA
微波探头：
0 至 40 GHz
0 至 50 GHz
0 至 67 GHz
光纤探头：
单模UV-VIS 或 VIS-IR 多模
非- 接触式、非破坏性开尔文探针
光学顶部视口访问：标准的 2.0 英寸（51 毫米）通光孔径
可选高达 8 英寸（200 毫米）的通光孔径
带 LCD 19 显示器或 USB 摄像头的单筒望远镜和精确的平移台 7:1 变焦，5 µm 分辨率（216 倍放大）
12.5:1 变焦，3.4 µm 分辨率（508 倍放大）
16:1 变焦，2.2 µm（626 倍放大）
探头行程：CCR-1
X轴： 1 英寸（25 毫米）
Y轴： 1 英寸（25 毫米）
（15 毫米带 MW 探头）
Z轴： 10 毫米（18 毫米可选）
CCR-2
X轴：2 英寸（51 毫米）
Y轴：2 英寸（51 毫米）
（45 毫米，带 MW 探头）
Z轴：10 毫米（18 毫米可选）
X 轴、Y 轴、Z 轴探头平移（刻度的增量单位） ：CCR-1：10 微米，CCR-2：12.5 微米。
探头平移分辨率：可提供具有更高平移分辨率的X、Y、Z 轴：CCR-1：5 微米，CCR-2：6.25 微米。
