Lake Shore探针台—参量探针配套工具包

      参量探针配套工具包和所有的探针台兼容。

      C-V配套测试工具包，包含：

      一.4个ZN50R双接头探针，您可以选择10um和25um钨针或者5um镀金钨针

      二.1根C-V电缆

      三.2个适配的三同轴-BNC转接头

      准开尔文测试工具包，包括：

      一.4个双接头探针，您可以选择10um和25um钨针或者5um镀金钨针

      二.2根Q-K电缆

      三.2个FT-TRIAX

      晶圆级的电容-电压（C-V）测量是半导体的重要参数。Lakeshore C-V配套工具包，可以用多种仪表，包括LCR表和自动平衡的C-V桥测量晶圆级的随温度变化的C-V特性。这个测试工具包含有特别的双接头探针，产生屏蔽的C-V电缆，S-2T结构和一对三周-同轴接头。

      S-2T结构把探针台里接近样品的2个探针的屏蔽连接起来，这产生了一个有效的电流屏蔽回路，减少了电缆的误差，提高了电容测量精度。

      C-V测试的特殊双接头探针代替了标准的Lakeshore ZN50R探针安装探针后，标准的信号电缆先连接到探针的SMA接头，然后短路电缆连接到探针的SSMB级头。当安装短路电缆时，需要升起探针臂避免探针尖碰到样品座。当拆掉短路电缆时，需要用一个螺丝刀把短路电缆从接头上移走。

      四线法测试（开尔文连接）是低温探针台经常使用的测试方法，使用独立的4个探针臂和探针-一对探针臂连接激励电路，第二对连接测量电路进行测试。使用Lakeshore的准开尔文测试配套设备，每个探针上有2个接头，可以仅使用2个探针臂进行激励-测量（没有温度计的探针臂膀）。通过这种方法，消除了电缆电阻，甚至可以仅使用单个探针臂进行低阻测量。

      这个测试工具包有特别的双接头探针，电缆，和2个探针臂侧面法兰相匹配的真空接头。准开尔文测试的特殊双接头探针代替了标准的Lakeshore ZN50R探针。安装探针后，标准的信号电缆先连接到探针的SMA接头，然后短路电缆连接到探针的SSMB级头。当拆掉短路电缆时，需要用一个螺丝刀把短路电缆从接头上移走。