2021-06-18 10:15:37 由 yihong 发表
VacIon Plus是安捷伦科技旗下的世界知名的离子泵产品家族，包括全系列离子泵，控制电源，可选配件及附件。微型泵抽速范围从0.2到10 l/sec，中小型泵抽速范围从20到75 l/sec，大型产品抽速范围从150到1000 l/sec，同时还提供钛升华复合型离子泵以及客户定制的特俗离子泵。
VacIon Plus离子泵产品家族拥有Diode 二极型，Noble Diode钽阴极二极型以及Starcell 三极型泵在内的全系列产品，以最好的超高真空获得技术为众多应用领域服务。除MiniVac和Dual两款离子泵电源外，最新4UHV离子泵控制器则为不同应用提供了更为丰富的选择。
最新的安捷伦4UHV离子泵控制器能同时控制四台离子泵，可以对泵进行独立操作，并且支持各个型号（包括Diode，NobleDiode，StarCell）。LCD显示可同时读取并显示四通道信息，包括离子泵电压，电流和压力。可变电压能够最佳读取抽速和压力，标配内置设定点，远程操作，以及RS232/485电脑交互界面。
高真空处理工艺
安捷伦真空采用了严格的高真空处理工艺来确保离子泵的卓越品质：
• 离子泵泵体及所有内部材料均经过严格的超高真空环境下450ºC 高温除气，
• 每台离子泵出厂前均经过RGA 分析，并在真空密封条件下封装出厂。
①单元结构和绝缘材料
• 优化设计的单元结构尺寸和形状
－ 放电强度
－ 抽气速度
• 特别设计的陶瓷绝缘材料
－ 避免导电材料在绝缘材料上的溅射沉积
－ 确保更长的离子泵使用寿命
②抽气单元
三种不同的抽气单元可以满足抽除种混合气体和特殊应用的要求
• 二级泵
• Noble 二级泵（钽）
• 拥有专利的StarCell 三级泵
③烘烤加热装置
• 可选配相应的烘烤加热装置，以更妥善地烘烤泵体
• 简化操作过程
④高压电源线
• 新型的高压电源线具有“高压安全互锁”功能，以避免潜在的放电风险
• 当电源线从泵体断开时自动切断高压输出
• 可根据用户需要定制相应长度
• 可靠，灵活的金属套装线缆
• 耐受幅射能力107 Gy
⑤高压端子
• 防腐材料
• 具有“高压引线互锁”功能
• 易于连接
• 防脱落设计
• 优化的尺寸
⑥根据用户特殊要求设计定制
根据用户需求可提供定制设计的泵体结构：
• 低温筒和钛升华泵可选择侧向或底部安装
• 定制复合吸气剂(NEG) 模块的离子泵
• 集成加热烘烤装置
• 扩展接口
