手动式探针台

手动式探针台广泛应用于，科研单位研发测试、院校教学操作、企业实验室芯片失效分析等领域。一般使用于研发测试阶段 ，批量不是很大的情况，大批量的重复测试推荐使用探卡。

主要功能：搭配外接测试半导体参数测试仪、示波器、网分等测试源表，量测半导体器件IV CV脉冲/动态IV等参数。

用途：以往如果需要测试电子元器件或系统的基本电性能（如电流、电压、阻抗等）或工作状态，测试人员一般会采用表笔去点测。随着电子技术的不断发展，对于精密微小（纳米级）的微电子器件（如IC、wafer、Chip、LCD Array、CMOS Camera Module、Pitch微小的Connector），表笔点到被测位置就显得无能为力了。于是一种高精度探针座应运而生,利用高精度微探针将被测原件的内部讯号引导出来，便于其电性测试设备（不属于本机器）对此测试、分析。

手动式探针台主体

（1）可测试晶圆尺寸：大4英寸

（2）样品台行程：100mm*100mm

（3）可选400度高温样品台

（4）移动分辨率：~0.1mm

（5）样品台旋转范围：360度

（6）超低漏电底栅接口，标准Triax输出

手动式探针台显微镜

（1）三目连续变倍体视镜，LED环形照明

（2）光学变倍总倍率45倍，物镜0.7~4.5倍连续变倍

（3）可选配高清摄像头，总放大倍率约700倍

手动式探针台探针

（1）超低漏电探针设计，针尖直径标配10um，小1um

手动式探针台针座

（1）磁性吸附底座，XYZ移动范围：12mm

（2）移动分辨率2um

（3）标配4个，多可装6个

手动式探针台探针线缆

（1）超低漏电探针设计，漏电流低于100fA

（2）Triax标准接口输出，Keithley原装低噪声Triax线缆

手动式探针台尺寸和自重

（1）尺寸：450mmW*450mmD*500mmH

（2）自重：约30Kg

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