五寸探针台

探针台简述

自动探针测试台是半导体器件和集成电路芯片在生产中必要的重要设备之一，它应用在晶圆生产线前道工艺线与后道工艺线的中测工序上，它的功能就是将待测晶圆与测试仪器自动对接，以便于测试仪器对待测晶圆上每个半导体芯片的电参数及其特性，进行有序测试和指标记录。

同时，根据测试情况，按要求将不同电参数特性电路做出标记，以便于后道工序中及时将其分离。此款自动探针测试台，是北京新润泰思特测控技术有限公司自主研发后所生产制造的，适用于2寸-6寸; 晶圆片的自动测试，是一款性能优良而又符合国情的中测设备。它不仅适用于各类半导体器件制造厂商和集成电路芯片制造厂商的中测生产线，同时也适用于各类集成电路设计公司做工程晶圆样片测试。

五寸探针台功能特点

（1）可选择实时打点（同步、异步打点）或脱机打点测试；

（2）可视化界面及MAP图可以追踪晶片测试状态；

（3）可进行任意点和任意图形抽测；

（4）XY定位精度自动温度补偿；

（5）承片台行程可编程，承片台上升、下降高度可调；

（6）三轴都有电气限位和软件限位双重保护；

（7）适用于2--6英寸标准晶片的自动测试；

（8）运动机构采用精密导轨、丝杠，精度高，寿命长，工作稳定；

（9）采用工控机主控，抗干扰能力强；

（10）XYZ向采用半闭环精度控制及伺服电机驱动，运动精度高；

（11）具有独特的MAP图编辑、存储和MAP图重测功能；

（12）可通过TTL接口、GPIB接口或RS232接口与测试仪通讯；

（13）具有测试异常和测试结束自动报警功能；

（14）WINDOWS中文操作界面，软件易升级，并具有网络连接功能。 

（15）适应公/英制步距图形测试功能；

（16）具有手动、矩阵、探边和圆形四种测试方式；

（17）真空气道可根据晶圆片的尺寸进行调节，节省气源无泄漏；

五寸探针台技术指标

（1）可测片径 ：2"、 3"、4"、5"、6"

（2）Z向速度：0.015mm/mS

（3）Z向分辨率：0.0012mm

（4）XY步进分辨率：0.0012mm

（5）XY行程：210mm X 190mm

（6）XY速度：200mm/s

（7）步距范围：0.001-9.999mm(公制)/0.0001-0.9999" (英制)

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