2020-11-04 16:56:03 由 admin 发表
通常需要确定以下问题来确定探针台的选型：
1.探针点测时，对电流的要求是否达到100fa或者以下？低电容的要求是否要做到0.1pf？是否有射频的需求？
2.是否需要防震桌？
3.若添置防震桌，是否有压缩空气？
4.接驳的测试仪器接口有哪些？
5.测试环境时是否会需要加热或者降温？
6.最多需要几根探针同时去点测？
7.对chuck的漏电要求怎样？是否需要添加低阻抗chuck？
8.最大需要测几英寸的晶圆或者器件？
9.探针台机械精度要求多高？
10.是否会用到探针卡？
11.光学显微镜的最小分辨率需要用到多少？
12.点测样品的尺寸规格为多少？100um*100um或60um*60um的pad，还是FIB制作的mini pad，还是ic内部的metal？
13.显微镜方面，是否需要添加偏光片做LC液晶热点侦测？
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