2020-11-04 16:12:29 由 admin 发表
一、探针台简介
探针台是半导体行业、光电行业、集成电路以及封装等行业的测试设备。探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。
二、探针台分类
探针台从操作上来区分有：手动探针台、半自动探针台和全自动探针台。从功能上来区分有：温控探针台、真空探针台（超低温探针台）、RF探针台、LCD平板探针台、霍尔效应探针台和表面电阻率探针台。
1、经济手动型探针台 （可根据客户需求定制）
chuck尺寸：4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12" (可选）
X-Y移动行程：4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12"(可选）
chuck Z轴方向升降10mm（选项）方便探针与样品快速分离
显微镜：金相显微镜、体式显微镜、单筒显微镜（可选）
显微镜移动方式：立柱环绕型、移动平台型、龙门结构型（可选）
探针座：有0.7um、2um、10um精度可选，磁性吸附带磁力开关
可搭配Probe card测试
经济手动型探针台适用领域：晶圆厂、研究所、高校等
2、半自动型探针台
chuck尺寸800mm/600mm
X,Y电动移动行程200mm/150mm
chuck粗调升降9mm，微调升降16mm
可搭配MITUTOYO金相显微镜或者AEC实体显微镜
针座摆放个数6～8颗
显微镜X-Y-Z移动范围2"x2"x2"
可搭配Probe card测试
半自动型探针台适用领域：8寸/6寸Wafer、IC测试之产品
3、电动型探针台
chuck尺寸1200mm，平坦度土1u（不锈钢或镀金）
X,Y电动移动行程300mm x 300mm
chuck粗调升降9mm，微调升降16mm，微调精度土1u
可搭配MITUTOYO晶像显微镜或者AEC实体显微镜
针座摆放个数8～12颗
显微镜X-Y-Z移动范围2“x2”x2“
材质：花岗岩台面+不锈钢
可搭配Probe card测试
电动型探针台适用领域：12寸Wafer、IC测试之产品
4、LCD半自动探针台
机械手臂取放片
电动、键入坐标寻位置
量测尺寸（mm）：1800x1600、1300x1200、1200x1000
5、LCD手动探针台
白炽灯或者LED整面背光
TFT元件特性、Driver IC量测分析
LCD手动探针台机台尺寸（mm）：800x600、500x400、300x300
6、PCB量测探针台（TDR）
高频测试探头GSG / GS / SG
频率10GHZ / 40GHZ / 50GHZ / 67GHZ
机台尺寸同LCD 探针台
太阳能产业探针台（Solar Cell 量测系统）
量测软体:
I-V /C-V Curve, Isc, Voc,
Pmax, Imax, Vmax, RS, Fill Factor,
Power Convert Efficiency
采用KEITHLEY Source Meter
可加配任意品牌之太阳光模拟器
7、高精度探针台
特性1：OTS-最近的位置对正系统（光学目标对准） OTS通过对照相机相对位置的测量来保证其绝对位置的精度。这是非常引人注目的技术，来源于东京精密的度量技术。OTS实现了以自己为参照的光学对准系统。
特性2：QPU-高刚性的硅片承载台（四方型系统） 为了有效的达到接触位置的精度，硅片承载台各部分的刚性一致是非常重要的，UF3000使用新的4轴机械转换装置（QPU），达到高刚性，高稳定度的接触。
特性3：装载部件。令客户满意的测试环境，可以提供从前部开始的通常的8“，12”及基本检查单元。也为自动物料输送系统应用做好了准备。
特性4：TTG（一点即到）
更加方便的操作，UF3000采用在显示屏上点一下，相关的屏幕就会切换到新的位置显示。相关的设定十分方便。屏幕的显示模式也可以由客户自行定义。
三、探针台工作原理
探针台是利用探针直接与测试对象的焊垫或凸块等直接接触，引出讯号，达到测试的目的。
四、探针台功能
探针台是半导体行业、光电行业、集成电路以及封装等行业的一种测试设备，主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。
五、探针台用途
探针台广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。
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