半自动探针台

重量

300KG

350KG

电力需求

AC220V,50~60HZ

样品台

尺寸

2inch

4inch

样品固定方式

真空导热硅脂/弹簧压片

样品台移动

2*2inch，电动

4*4inch，电动

样品台移动

1um

1um

正压环境

5个大气压

真空度

10^-3Pa

光学特性

显微镜行程

2*2inch

4*4inch

放大倍数

变焦：7:1分辨率5μm (放大倍数216X）或者选用金像显微镜（20X~1000X）

真空腔观察窗尺寸

2inch

4inch

CCD像素

50W（模拟）/200W（数字）/500W（数字）

温控规格

制冷方式

液氮/液氦

控制方式

开循环手动/自动冷媒流量控制

控温范围

77K~480K/4.2K~480K

控温分辨率

0.001K

温度稳定性

4.2K   ±0.2K                  77K   ±0.1K

373K   ±0.1K                  473K  ±0.1K

      823K   ±0.2K(可选）            973K  ±1.0K(可选）

常温到8K冷却时间

90min

8K到常温升温时间

90min

常温开始的升温时间 

100℃        150℃           200℃

30min        50min           80min

加热电源 

LVDC 低压直流

传感器

硅二极管

传感器数量

样品台，防辐射屏，探针臂各一个

功率

50W/100W/500W/1000W

点针规格

探针数量

2个/4个/6个

探针调节

真空波纹管外部调节，三轴机械手

点针精度

10微米/2微米/0.7微米

X-Y-Z行程

25mm-25mm-25mm

漏电精度  

10pA/100fA

接口形式

三轴/SMA/K/光纤接口

软件功能

晶圆Map编辑

测试仪器加载

自动运动控制

视觉运动补偿

数据采集分析

参数一体化显示

应用方向

高低温真空环境下的晶圆测试，MEMS测试，材料测试，霍尔测试，电磁输运特性等

可选附件

防震桌

多级压缩制冷机

机械泵/分子泵组/离子泵

射频部件

Chuck运动装置

电磁铁系统/超导磁铁系统

超高温升级选件

超高真空升级选件

超高压力升级选件

客户特殊定制