2020-10-14 15:52:11 由 admin 发表
自动探针台技术性能
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自动探针台技术指标
| 自动探针台可测片径 | 4″、5″、6″ | |
| 自动探针台工作台 | 定位精度 | ≤±0.015mm |
| 进步分辨率 | 0.001mm | |
| 自动探针台承片台 | Z向行程 | 8mm |
| Z向定位精度 | ≤±0.005mm | |
| Z向分辨率 | 0.001mm | |
| θ向调节范围 | ±10° | |
| θ向分辨率 | 0.001° | |
| 自动探针台观察装置 | 双目体视显微镜 ，放大倍数7.5X～45X | |
| 自动探针台遮光罩装置（适合对光敏感器件的遮光测试） | 选配 | |
| 自动探针台上、下片方式 | 手动方式 | |
| 自动探针台外形尺寸（宽×深×高） | 750mm×700mm×1500mm | |
| 自动探针台使用环境要求 | 电源 | AC 220V±22V 50Hz±1Hz |
| 功率 | ＜0.8KW | |
| 真空 | < -80 KPa | |
| 温度 | 10ºC-30ºC | |
| 湿度 | ＜60% | |
自动探针台系统界面
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