2026年4月，上海柯舜为江苏某高校定制的PSM-LN2-6A液氮高低温半自动真空探针台顺利完成交付、安装与调试，正式投入科研使用，为微纳电子、半导体器件、二维材料等领域提供高精度低温真空测试平台。

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· 6英寸大样品台：无氧铜镀金材质，真空吸附固定，兼容整片晶圆与局部样品，表面平整度≤20μm；

· 80K–500K宽温精准控温：液氮制冷，1L液氮即可降至80K；温度稳定性±0.2K，控温分辨率≤0.01K，自增压 + 流速自动调节，节能高效；

· 高真空环境：铝制O圈密封腔体，真空度5E-3mbar，隔绝干扰，数据更稳定；

· 半自动精准定位：X/Y/Z/R电动控制，XYZ定位精度≤3μm，旋转精度≤±0.001°，操作高效便捷；

· 4路高低温三同轴探针臂：三维精密调节，全温域漏电流≤50fA，满足超低漏电高精度电学测试；

· 高清光学观测：10X–180X无级变倍，分辨率≤2μm，300万像素HDMI相机，清晰观测微纳器件。

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校企协同，赋能前沿科研

上海柯舜专注低温真空精密测试设备研发，PSM-LN2-6A凭借宽温域、高真空、低漏电、半自动操控等优势，完美适配高校实验室高频次、高精度、多场景测试需求。

未来，上海柯舜将持续以自主创新技术，为高校与科研院所提供更专业、稳定、高效的测试解决方案，助力我国前沿科研与高端装备创新发展。