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校准基板

校准基板

GGB Industries, Inc. 的校准基材系列允许用户在探头尖顶部校准任何 GGB Industries, Inc. 的微波 Picoprobe®。 测量系统校准的基本原理是提供测量系统可以连接的准确的已知标准。 GGB Industries, Inc. 的校准基材系列就是这样的标准。每个校准基板都包含高精度元件,用于校准微波网络分析仪、其相关布线和微波探头中不可避免的误差和损耗,以确保准确的晶圆测试。

校准基板产品概述

GGB Industries, Inc. 的校准基材系列允许用户在探头尖顶部校准任何 GGB Industries, Inc. 的微波 Picoprobe®。

测量系统校准的基本原理是提供测量系统可以连接的准确的已知标准。

GGB Industries, Inc. 的校准基材系列就是这样的标准。每个校准基板都包含高精度元件,用于校准微波网络分析仪、其相关布线和微波探头中不可避免的误差和损耗,以确保准确的晶圆测试。


我们准确、易于使用的校准基板、校准系数和详细说明使您可以在测量系统(网络分析仪+电缆+探头)产生与标准不同的读数时对其进行校正。校准微波测量系统的典型元件包括开路、短路、匹配负载和贯通。这四个元件具有彼此非常不同的电气特性,因此每个元件对整个校准过程都起着重要的作用。原则上可以采用任何一组标准,但是,标准越相同,校准过程就越不准确,这反过来会导致晶圆上测试不准确。我们精密制作的校准基板如果使用得当。

如何为您的探测应用选择正确的校准基板:

1) 确定 Picoprobe 的足迹和间距(尖顶部间距);
      2) 确定哪种校准类型适合您的应用(SOLT、LRL/TRL 或 LRM/TRM)*;
      3) 使用校准基板选择指南,选择与您的 Picoprobe 占地面积、推荐的间距范围和您选择的校准类型相匹配的校准基板。

校准基板技术参数

校准基质选择指南
校准基
焊盘尺寸(微米)
支持的 校准类型

推荐的螺距范围(微米)
可接受的螺距范围(微米)
CS-5
50 X 50
SOLT, LRL,LRM
GSG
75 - 250
75 -250
CS-9
100 X 100
SOLT, LRL,LRM
GSG
250 - 600
150 - 600
CS-10
150 X 150
SOLT, LRM
GSG
600 - 1250
225 - 1250
CS-18
300 X 300
SOLT, LRM
GSG
1250 - 2540
500 - 2540

CS-8
50 X 50
100 X 100
150 X 150
SOLT, LRM
GS, SG
50 - 200
50 -300
CS-14
100 X 100
SOLT, LRM
GS, SG
200 - 400
150 - 600
CS-11
150 X 150
SOLT, LRM
GS, SG
400 - 1250
175 - 1250
CS-17
300 X 300
SOLT, LRM
GS, SG
750 - 2540
450 - 2540

专为 110 GHz 以上使用而设计的特殊校准基板
校准基
焊盘尺寸(微米)
支持的校准类型
推荐的螺距范围(微米)
可接受的螺距范围(微米)
CS-15
25×25
SOLT、LRL、LRM
GSG
40 - 150 (SOLT)
30 - 150 (LRL)
40 - 150
      SOLT = 短路开路负载直通
      LRL = 线反射线(相当于 TRL = 直通反射线)
      LRM = 线反射匹配(相当于 TRM = 直通反射匹配)


差分校准基板选择指南 GSGSG
校准基板
焊盘尺寸(微米)
支持的 校准类型
类型推荐间距(微米
可接受的间距(微米)
CS-2-50
25×25
SOLT、LRL
LRM
GSSG
50
45-55
CS-2-75
25×25
SOLT、LRL
LRM
GSSG
7570-80
CS-2-100
50×50
SOLT、LRL
LRM
GSSG
10090 - 110
CS-2-125
50×50
SOLT、LRL
LRM
GSSG
125115 - 135
CS-2-150
50×50
SOLT、LRL
LRM
GSSG
150140 -160
CS-2-200
50×50
SOLT、LRL
LRM
GSSG
200190 - 210
CS-2-225
50×50
SOLT、LRL
LRM
GSSG
225215 - 235
CS-2-250
50×50
SOLT、LRL
LRM
GSSG
250240 -260
CS-2-300
100×100
SOLT、LRL
LRM
GSSG
300275 - 325
CS-2-350
100×100
SOLT、LRL
LRM
GSSG
350325 - 375
CS-2-400
100×100
SOLT、LRL
LRM
GSSG
400375 - 425
CS-2-450
100×100
SOLT、LRL
LRM
GSSG
450425 - 475
CS-2-500
100×100
SOLT、LRL
LRM
GSSG
500490 - 510
CS-2-750
150×150
SOLT、LRL
LRM
GSSG
750700 - 800
CS-2-1000
150×150
SOLT、LRL
LRM
GSSG
1000990 - 1010
CS-2-1250
150×150
SOLT、LRL
LRM
GSSG
12501225 - 1275

GSSG
校准基板
焊盘尺寸(微米)
支持的 校准类型
类型推荐间距(微米)
可接受的间距(微米)
CS-3-50
25×25
SOLT, LRM
GSSG
5045-60
CS-3-75
25×25
SOLT, LRM
GSSG
7565-85
CS-3-100
50×50
SOLT, LRM
GSSG
10085 - 115
CS-3-125
50×50
SOLT, LRM
GSSG
125110 - 140
CS-3-150
50×50
SOLT, LRM
GSSG
150135 -165
CS-3-175
50×50
SOLT, LRM
GSSG
175160 - 190
CS-3-200
50×50
SOLT, LRM
GSSG
200185 - 215
CS-3-250
100×100
SOLT, LRM
GSSG
250200 - 300
CS-3-350
100×100
SOLT, LRM
GSSG
350300 - 400
CS-3-450
100×100
SOLT, LRM
GSSG
450400 - 500
CS-3-500
150×150
SOLT, LRM
GSSG
500425 - 525
CS-3-600
100×100
SOLT, LRM
GSSG
600550 - 625
CS-3-800
300×300
SOLT, LRM
GSSG
800600 - 1000
CS-3-1000
300×300
SOLT, LRM
GSSG
1000800 - 1075
CS-3-1250
300×300
SOLT, LRM
GSSG
12501050 - 1325

SGS
校准基板
焊盘尺寸(微米)
支持的 校准类型
类型推荐间距(微米)
可接受的间距(微米)
CS-4-100
50 X 50
SOLT, LRM
SGS
15090 - 110
CS-4-150
50 X 50
SOLT, LRM
SGS
150140 - 160
CS-4-200
100 X 100
SOLT, LRM
SGS
250225 - 275
CS-4-300
100 X 100
SOLT, LRM
SGS
300275 - 325
CS-4-350
100 X 100
SOLT, LRM
SGS
350325 - 375






校准基板基本配置

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