上海懿宏科学仪器有限公司

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产品介绍

使用Sumitiomo 公司的6.5K闭循环制冷机,不需要消耗液氦和液氮,CRX- 6.5K的温度变化范围10K到350K,加上一个可以更换的高温样品架选件,温度变化范围20K到675K。每一个低温样品级都安装温度计和加热器,可以提供快速的热响应,快速迅速回到室温,样品更换非常方便。热辐射屏大大降低了黑体辐射,提高了制冷效率。

系统采用了精心的设计来减低振动,采用各种减震装置阻止机械振动影响测量的性能。在全量程温度范围内,样品的振动小于1um ( X, Y, Z轴)。

美国 Lake Shore CRX-4K最多可安装6个可以进行微调整的探针臂,每个探针臂上的探针都可以进行3维方向上的定位。微波探头可以±5°旋转,使样品可以更好的和探针匹配。DC探针低噪音,低漏电流,热接触好。RF探针可以频率到67GHz.,光线可以从窗口入射,也可以通过光纤导入。专用的探针根据尺寸和材料不同,分为多种类型,探针减少了热质量,优化了和器件的电接触性。每个探针都直接和冷头进行导热,这样就减小了探针对样品的热传递。

 


产品特点

    ●      采用闭循环制冷机制冷,不需消耗任何液氮或液氦,基本系统温度范围:10K到350K

    ●      高温选件温度范围:20K到675K

    ●      系统冷却时间<3.5小时

    ●      探针臂分别在防辐射屏和样品台上热沉,最低温度可以达到25K

    ●      探针臂传上安装温度感器进行温度监测

    ●       控温稳定性:±50mK

    ●      样品更换循环时间4小时

    ●      低振动设计:在样品台<2μm ( X, Y, Z轴)

    ●      测量DC到67GHz

    ●      各种样品架适于低噪音,高频,高阻测量

    ●      最大测试样品尺寸51mm(2in)直径

    ●      最多可使用6个探针臂

    ●      探针臂可进行3轴调整和平面内±5度的调整


CRX-6.5K无液氦闭循环制冷机低温真空探针台技术参数

温度
温度范围标准温度范围:基础温度6.5K, 温控范围10-350K

高温选件温度范围:基础温度20K, 温控范围20-675K

2个臂4个臂6个臂
标准(探针落到样品座上)8.5-350K9.5K-350K10.5K-350K
探针温度范围25K-350K
制冷时间
室温到最低温度的10K以内2小时
室温到最低温度的1K以内2.25小时
升温时间,从最低温度到室温1.5小时
温度稳定性±50mK
加热器温度控制
样品台100W
辐射防护屏50W
二级冷头只监视温度
一级冷头只监视温度
探针臂只监视温度
系统振动指标
振幅( X, Y, Z轴)<2um 峰峰值,样品台
探针臂行程及分辨率
X轴51mm(2inch),20μm分辨率
Y轴25mm (1inch),10μm分辨率
Z轴18mm (0.7inch),10μm分辨率
系统真空指标
抽真空时间CCR制冷前抽到10-3 Torr,需要20分钟
腔体体积4.6升+0.2L/每个探针臂
室温真空度10-4Torr




光学分辨率-显微镜
7:1 Zoom4微米


CRX-6.5K无液氦闭循环制冷机低温真空探针台基本系统组成

闭循环样品台制冷机- SHI SH204N10K(最低温度),10K到350K(控制温度)
样品台温度传感器Lake Shore DT-670-CU-HT 标定的硅二极管温度计
二级冷头温度传感器Lake Shore DT-670-CU 硅二级管温度计(仅作为诊断)
一级温度传感器Lake Shore DT-670-CU 硅二级管温度计(仅作为诊断)
样品台加热器100W
二级冷头加热器50W(仅作为诊断)
一级冷头加热器100W(仅作为诊断)
冷辐射屏和红外吸收窗口
直径137mm(5.4 in)
温度传感器Lake Shore DT-670-CU 硅二级管温度计
材料镀镍的铝
防辐射屏加热器50W
上盖可打开,带视窗¢51mm(2inch),¢50mm(1.97inch)可视区域
样品区域132mm(5.2inch)
温度35-45K
温度控制器1台Lake Shore 336温度控制器
真空腔体
直径197mm(7.7inch)
密封O-ring (2-164 Buna-N)
上盖可打开,带清晰的熔凝石英窗口¢54mm(2.13inch)窗口
可视区域¢54mm(2.13.inch)
探针臂开口6个等间距的开口
泵口NW-25,带有真空隔离阀(真空泵需要另外订购)
真空计接口KF-25(真空计不包含在内
充气口0.25in TPT,带阀(只允许惰性气体)
过压安全阀3.4kPa (0.5psi),压力放气阀
铝制底座654mm x 533mm (25.75 in x 21 in)
支架低振动,焊接不锈钢减震支架
一个探针臂上安装温度计,用来监视探针臂温度
接地样品架SH-1.25-G,最大可测量样品尺寸¢32mm(1.25inch)和25mm(1 in)探测区域探测
光学
Zoom 70显微镜4μm分辨率
彩色CCD相机S端子输出和复合输出
扫描镜头臂镜头的调整臂可以进行旋转、上下升降、前后移动,这样确保在整个样品架范围内对样品进行观察,在更换样品的时候,也可以把调整臂旋转到一侧,方便更换。
显示器17in显示器
样品照明设备同轴灯和环形灯
仪器控制柜
基本工具、备件和清洁工具