上海懿宏科学仪器有限公司

高斯计

探针台、控温仪、传感器、氦质谱检漏仪

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  产品介绍

    使用Sumitiomo 公司的4K闭循环制冷机,不需要消耗液氦和液氮,CRX-VF能提供的水平区域电磁场场强为6.0KOe(0.6T),它的温度变化范围是8K-400K。加入高温选件可测量的温度变化范围是20K-500K。每一个低温样品级都安装温度计和加热器,可以提供快速的热响应,快速迅速回到室温,样品更换非常方便。热辐射屏大大降低了黑体辐射,确保有很小的热梯度。

系统采用了精心的设计来减低振动,采用各种减震装置阻止机械振动影响测量的性能。在全量程温度范围内,样品的振动小于1um ( X, Y, Z轴)。

美国 Lake Shore CRX-EM-HF最多可安装4个可以进行微调整的探针臂,每个探针臂上的探针都可以进行3维方向上的定位。微波探头可以±5°旋转,使样品可以更好的和探针匹配。360°样品台旋转选件允许你测量角度和测量器件的各异向性磁运输特性。专用的探针根据尺寸和材料不同,分为多种类型,探针减少了热质量,优化了和器件的电接触性。每个探针都直接和冷头进行导热,这样就减小了探针对样品的热传递。

 


 

  产品特点

    ●    0.6T水平方向电磁铁磁场

    ●     采用闭循环制冷机制冷,不需消耗任何液氮或液氦,基本系统温度范围:8K到400K

    ●    探针臂传上安装温度感器进行温度监测

    ●    控温稳定性:±50mK

    ●    系统冷却时间<4.5小时

    ●    低振动设计:在样品台<1μm ( X, Y, Z轴)

    ●    测量DC到67GHz

    ●    各种样品架适于低噪音,高频,高阻测量

    ●    最大测试样品尺寸51mm(2in)直径

    ●    最多可使用6个探针臂

    ●    探针臂可进行3轴调整和平面内±5度的调整

 

CRX-EM-HF无液氦水平电磁场闭循环制冷机低温探针台技术参数


  温度
  温度范围  标准温度范围:8K到400K

  高温选件温度范围:20K到500K
  温度稳定性  ±50mK
  磁场
  最大磁场  6koe(0.6T)
  磁场均匀区(70A)
  10mm 直径wafer  0.6%
  12.7mm直径wafer  1.1%


  20mm直径wafer

  2%
  25.4mm直径wafer  2.6%
  加热器温度控制
  样品台  100W
  辐射防护屏  50W
  二级冷头  50W
  一级冷头  100W
  探针臂  只监视温度
  系统振动指标
  振幅( X, Y, Z轴) <1um 峰峰值,样品台
  探针臂行程及分辨率
  X轴  51mm(2inch),20μm分辨率
  Y轴  25mm (1inch),10μm分辨率
  Z轴  18mm (0.7inch),10μm分辨率
  样品架转动

  360度(选件)
  系统真空指标


  室温真空度  10-4Torr
  光学分辨率-显微镜
  7:1 Zoom  8微米 

CRX-EM-HF无液氦水平电磁场闭循环制冷机低温探针台基本系统组成


  闭循环样品台制冷机- SHI RDK-408D2  10K(最低温度),10K到350K(控制温度)
  样品台温度传感器  Lake Shore CX-1050-CU 标定的Cernox温度计
  二级冷头温度传感器  Lake Shore DT-670-CU 硅二级管温度计
  一级温度传感器  Lake Shore DT-670-CU 硅二级管温度计
  样品台加热器  100W
  二级冷头加热器  50W
  一级冷头加热器  100W
  磁场
  电磁场强度  6kOe(0.6T),水平区域
  冷却水流速  7.6L/min(2gal/min)
  电磁体电源  Lake Shore 643
  输出形式  双极,线型,4象限,直流电流源
  电流  ±70A
  电压  ±35V
  冷却水流速  5.7L/min(1.5gal/min)
  高斯计和霍尔探头  Lake Shore 475带探头(控制和监视)
  冷辐射屏和红外吸收窗口
  温度传感器  Lake Shore DT-670-CU 硅二级管温度计
  防辐射屏加热器  50W
  上盖可打开,带视窗  ¢50mm(2inch)窗口
  温度控制器  2台Lake Shore 336温度控制器(分别控制样品台、磁体、辐射防护屏、一级冷头;监视二级   冷头和探针臂的温度)
  真空腔体
  外部尺寸  340mm×203mm(13.4in×8in)
  上盖可打开,带清晰的熔凝石英窗口  ¢54mm(2.13inch)窗口
  探针臂开口  4个等间距的开口
  泵口  NW-40,(真空泵需要另外订购)
  安全阀  NW-25
  铝制底座  787mm x 419mm (31 in × 16.5 in)
  支架  低振动,焊接不锈钢减震支架
  一个探针臂上安装温度计,用来监视探针臂温度
  接地样品架  SH-1.25-G,最大可测量样品尺寸¢32mm(1.25inch)和25mm(1 in)探测区域探测
  光学
  Zoom 70显微镜  4μm分辨率
  彩色CCD相机  S端子输出和复合输出
  扫描镜头臂  镜头的调整臂可以进行旋转、上下升降、前后移动,这样确保在整个样品架范围内对样品进行   观察,在更换样品的时候,也可以把调整臂旋转到一侧,方便更换。
  显示器  17in显示器
  样品照明设备  同轴灯和环形灯
  仪器控制柜


  基本工具、备件和清洁工具