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美国 Lake Shore CPX 低温真空探针台可以对器件进行非破坏性的测试，器件的最大尺寸可达到51mm(2inch)。它可以对材料或器件的电学特性测量、光电特性测量、参数测量、high Z测量、DC测量、RF测量和微波特性测量提供一个测试平台。一般来讲，纳米电子材料、量子线、量子点和半导体材料是在CPX在进行测量的比较典型的材料。系统的探针、测试电缆、样品架都有多种类型可供选择，从而满足不同用户的需要。
CPX 低温真空探针台产品介绍 |
美国 Lake Shore CPX 低温真空探针台的温度变化范围4.2K到475K，加低温选件后，温度可降低到1.5K，加入高温选件，可提供的温度变化范围：20K-675K。系统需要使用液氦或液氮实现变温，防辐射屏大大降低了黑体辐射，提高了制冷效率。冷头上安装两个加热器，减小了样品的温度梯度，加上防辐射屏上的加热器，整个系统可以实现快速的变温。
美国 Lake Shore CPX 低温真空探针台最多具有6个可以进行微调整的探针臂，每个探针臂上的探针都可以进行3维方向上的定位。专用的探针根据尺寸和材料不同，分为多种类型，探针减少了热质量，优化了和器件的电接触性。每个探针都直接和冷头进行导热，这样就减小了探针对样品的热传递。
为了提高系统的实用性，系统还可以提供1.5K的温度扩展选件、675K的高温选件、高真空、Load Lock选件、振动隔离装置、LN2杜瓦、高放大倍数的显微镜、分子泵组、防辐射屏的温度控制装置、探针臂的光纤电缆等选件。
| CPX 低温真空探针台产品特点 |
● 系统可使用液氮或液氦制冷，基本系统温度范围：4.2 K to 475 K
● 加入温度选件，温度范围可到1.5 K to 400 K 和 20 K to 675 K
● 样品台可进行面内±5°旋转
● 测量DC到67GHz
● 最大测试样品尺寸51mm直径
● 最多可使用6个探针臂
● 探针臂传上安装温度感器进行温度监测
● 可提供Load-lock选件
● 控温稳定性：±50mK
● 探针臂3轴方向可调节，并可进行面内±5°旋转
● 采用高真空选件，系统真空度可达到10-7 torr
● 电缆、屏蔽和Guard保护进一步减少了电噪声和热辐射损失
● 可提供不同的选件和附件来满足特定的科研测试需要
CPX低温真空探针台技术参数
| 温度 | |||
| 温度范围 | 标准温度范围：4.2K到475K | ||
| 低温选件温度范围：1.7K-400K或2K-400K | |||
| 高温选件温度范围：20K到675K | |||
| 温度稳定性 | ±50mK | ||
| 系统降温时间 | |||
| 室温到10K以内 | 30分钟 | ||
| 室温到1K以内且辐射防护屏达到稳定 | 1小时15分钟 | ||
| 加热器温度控制 | |||
| 样品台 | 50W | ||
| 辐射防护屏 | 2个100W和1个50W | ||
| 探针臂 | 只监视温度 | ||
| 探针臂行程及分辨率 | |||
| X轴 | 51mm（2inch），20μm分辨率 | ||
| Y轴 | 25mm (1inch)，10μm分辨率 | ||
| Z轴 | 18mm (0.7inch)，10μm分辨率 | ||
| 系统真空指标 | |||
| 抽真空时间 | 系统冷却前抽真空到10-3 Torr，需要20分钟 | ||
| 室温真空度 | 10-4Torr | ||
| 光学分辨率-显微镜 | |||
| 7：1 Zoom | 4微米 | ||
CPX低温真空探针台基本系统组成
| 开循环制冷 | 4.2K到475K | ||
| 样品台温度传感器 | Lake Shore DT-670-SD-1.4H 标定硅二级管温度计 | ||
| 样品台加热器 | 50W | ||
| 冷辐射屏和红外吸收窗口 | |||
| 温度传感器 | Lake Shore DT-670-CU 硅二级管温度计 | ||
| 防辐射屏加热器 | 2个100W和1个50W（需要单独选配温度控制器） | ||
| 防辐射屏加热器 | 100W | ||
| 上盖可打开，带视窗 | ￠50mm(2inch) | ||
| 温度控制器 | 2台Lake Shore 336温度控制器（分别控制样品台、辐射防护屏；监视探针臂的温度） | ||
| 真空腔体 | |||
| 直径 | 279mm(11inch) | ||
| 上盖可打开，带清晰的熔凝石英窗口 | ￠54mm(2.13inch) | ||
| 探针臂开口 | 6个等间距的开口 | ||
| 泵口 | NW-40，带有真空隔离阀（真空泵需要另外订购） | ||
| 气体清洗接口 | NW25 | ||
| 可选口 | 高真空 | ||
| 备用口 | NW25和NW40 | ||
| 铝制底座 | 610mm×737mm (24×29 in) | ||
| 一个探针臂上安装温度计，用来监视探针臂温度 | |||
| 接地样品架 | SH-1.25-G，最大可测量样品尺寸￠32mm(1.25inch)和￠25mm (1inch)探头区域 | ||
| 光学 | |||
| Zoom 70显微镜 | 4μm分辨率 | ||
| 彩色CCD相机 | S端子输出和复合输出 | ||
| 扫描镜头臂 | 镜头的调整臂可以进行旋转、上下升降、前后移动，这样确保在整个样品架范围内对样品进行观察，在更换样品的时候，也可以把调整臂旋转到一侧，方便更换。 | ||
| 显示器 | 17in显示器 | ||
| 样品照明设备 | 同轴灯和环形灯 | ||
| 带脚阀和流量计的液氦传输管线 | |||
| 基本工具、备件和清洁工具 | |||
