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美国 Lake Shore CPX-VF探针台可以对器件进行非破坏性的测试,器件的最大尺寸可达到51mm(2inch)。它可以对材料或器件的电学特性测量、光电特性测量、参数测量、high Z测量、DC测量、RF测量和微波特性测量提供一个测试平台。一般来讲,纳米电子材料、量子线、量子点和半导体材料是在CPX-VF在进行测量的比较典型的材料。系统的探针、测试电缆、样品架都有多种类型可供选择,从而满足不同用户的需要。
CPX-VF 低温真空探针台产品介绍 |
安装在无磁性桌面上,CPX-VF探针台带有25kOe(2.5T)垂直超导磁体。温度变化范围4.2K到400K,加低温选件后,温度可降低到2K,系统需要使用液氦或液氮实现变温,防辐射屏大大降低了黑体辐射,提高了制冷效率。冷头上安装加热器,减小了样品的温度梯度,加上防辐射屏,磁体上的加热器,整个系统可以实现快速的变温。
美国 Lake Shore CPX-VF最多具有6个可以进行微调整的探针臂,每个探针臂上的探针都可以进行3维方向上的定位。专用的探针根据尺寸和材料不同,分为多种类型,探针减少了热质量,优化了和器件的电接触性。每个探针都直接和冷头进行导热,这样就减小了探针对样品的热传递。
为了提高系统的实用性,系统还可以提供2K的温度扩展选件、高真空、振动隔离装置、LN2杜瓦、高放大倍数的显微镜、分子泵组、防辐射屏的温度控制装置、探针臂的光纤电缆等选件。
CPX-VF 低温真空探针台产品特点 |
● 2.5T垂直超导磁场
● 系统可使用液氦制冷,基本系统温度范围:4.2 K to 400 K
● 系统冷却时样品温度可保持在室温,减少结霜的可能性
● 多层防辐射屏设计优化了液氦的消耗量
● 样品台可进行面内±5°旋转
● 测量DC到67GHz
● 采用高真空选件,系统真空度可达到10-7 torr
● 最大测试样品尺寸25mm(1in)直径
● 控温稳定性:±50mK
● 最多可使用4个探针臂
● 电缆、屏蔽和Guard保护进一步减少了电噪声和热辐射损失
● 可提供不同的选件和附件来满足特定的科研测试需要
CPX-VF 低温真空探针台技术参数
温度 | |||
温度范围 | 标准温度范围:4.2K到400K | ||
低温选件温度范围:2K到400K | |||
温度稳定性 | ±50mK | ||
加热器温度控制 | |||
样品台 | 50W | ||
超导磁体 | 100W | ||
辐射防护屏 | 1个100W和1个50W | ||
探针臂 | 只监视温度 | ||
最大磁场 | |||
最大垂直磁场 | 2.5T(垂直方向) | ||
探针臂行程及分辨率 | |||
X轴 | 51mm(2 inch),20μm分辨率 | ||
Y轴 | 25mm (1 inch),10μm分辨率 | ||
Z轴 | 18mm (0.7 inch),10μm分辨率 | ||
系统真空指标 | |||
抽真空时间 | 系统冷却前抽真空到10-3 Torr,需要20分钟 | ||
室温真空度 | 10-4 Torr | ||
光学分辨率-显微镜 | |||
7:1 Zoom | 4微米 |