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美国 Lake Shore CPX-HF探针台可以对器件进行非破坏性的测试,器件的最大尺寸可达到25mm(1inch)。它可以对材料或器件的电学特性测量、光电特性测量、参数测量、high Z测量、DC测量、RF测量和微波特性测量提供一个测试平台。一般来讲,纳米电子材料、量子线、量子点和半导体材料是在CPX-HF在进行测量的比较典型的材料。系统的探针、测试电缆、样品架都有多种类型可供选择,从而满足不同用户的需要。
CPX-HF 低温真空探针台产品介绍 |
美国 Lake Shore CPX-HF探针台带有10kOe(1T)水平超导磁体。温度变化范围4.2K到400K,加低温选件后,温度可降低到2K,系统需要使用液氦或液氮实现变温,防辐射屏大大降低了黑体辐射,提高了制冷效率。冷头上安装加热器,减小了样品的温度梯度,加上防辐射屏和磁体上的加热器,整个系统可以实现快速的变温。
美国 Lake Shore CPX-HF最多具有4个可以进行微调整的探针臂,每个探针臂上的探针都可以进行3维方向上的定位。专用的探针根据尺寸和材料不同,分为多种类型,探针减少了热质量,优化了和器件的电接触性。每个探针都直接和冷头进行导热,这样就减小了探针对样品的热传递。
为了提高系统的实用性,系统还可以提供2K的温度扩展选件、高真空、振动隔离装置、LN2杜瓦、高放大倍数的显微镜、分子泵组、防辐射屏的温度控制装置、探针臂的光纤电缆等选件。
CPX-HF 低温真空探针台产品特点 |
● 1T水平超导磁场
● 系统可使用液氦制冷,基本系统温度范围:4.2 K to 400 K
● 系统冷却时样品温度可保持在室温,减少结霜的可能性
● 多层防辐射屏设计优化了液氦的消耗量
● 样品台可进行面内±5°旋转
● 测量DC到67GHz
● 采用高真空选件,系统真空度可达到10-7 torr
● 最大测试样品尺寸25mm(1in)直径
● 控温稳定性:±50mK
● 最多可使用4个探针臂
● 电缆、屏蔽和Guard保护进一步减少了电噪声和热辐射损失
● 可提供不同的选件和附件来满足特定的科研测试需要
CPX-HF低温真空探针台技术参数
温度 | |||
温度范围 | 标准温度范围:4.2K到475K | ||
低温选件温度范围:2K到400K | |||
温度稳定性 | ±50mK | ||
加热器温度控制 | |||
样品台 | 50W | ||
超导磁体 | 100W | ||
辐射防护屏 | 1个100W和1个50W | ||
探针臂 | 只监视温度 | ||
最大磁场 | |||
最大水平磁场 | 1T(水平方向) | ||
探针臂行程及分辨率 | |||
X轴 | 51mm(2inch),20μm分辨率 | ||
Y轴 | 25mm (1inch),10μm分辨率 | ||
Z轴 | 18mm (0.7inch),10μm分辨率 | ||
系统真空指标 | |||
抽真空时间 | 系统冷却前抽真空到10-3 Torr,需要20分钟 | ||
室温真空度 | 10-4Torr | ||
光学分辨率-显微镜 | |||
7:1 Zoom | 8微米 |
CPX-HF低温真空探针台基本系统组成
磁场 | |||
超导磁体 | 10kOe(1T),水平方向 | ||
超导磁体电源 | Lakeshore 625超导磁体电源 | ||
输出 | 双极,4象限,直流输出 | ||
最大电流 | ±60A | ||
最大电压 | ±5V | ||
制冷 | |||
开循环制冷 | 4.2K到475K | ||
样品台温度传感器 | Lake Shore CX-1030-SD-HT-1.4M 标定Cernox温度计 | ||
样品台加热器 | 50W | ||
超导磁体温度传感器 | Lake Shore CX-1030-SD-HT-1.4M 标定Cernox温度计 | ||
超导磁体加热器 | 100W | ||
冷辐射屏和红外吸收窗口 | |||
温度传感器 | Lake Shore DT-670-CU 硅二级管温度计 | ||
防辐射屏加热器 | 1个100W和1个50W(需要单独选配温度控制器) | ||
上盖可打开,带BG42视窗 | ¢50mm(2inch) | ||
温度控制器 | Lake Shore 336温度控制器(分别控制样品台、辐射防护屏;监视探针臂的温度) | ||
真空腔体 | |||
直径 | 279mm(11inch) | ||
上盖可打开,带清晰的熔凝石英窗口 | ¢54mm(2.13inch) | ||
探针臂开口 | 6个等间距的开口 | ||
泵口 | NW-40,带有真空隔离阀(真空泵需要另外订购) | ||
气体清洗接口 | NW25 | ||
可选口 | 高真空 | ||
备用口 | NW25和NW40 | ||
铝制底座 | 610mm×737mm (24×29 in) | ||
一个探针臂上安装温度计,用来监视探针臂温度 | |||
接地样品架 | SH-1.00-G,最大可测量样品尺寸¢25mm(1inch) | ||
光学 | |||
Zoom 70显微镜 | 8μm分辨率 | ||
彩色CCD相机 | S端子输出和复合输出 | ||
扫描镜头臂 | 镜头的调整臂可以进行旋转、上下升降、前后移动,这样确保在整个样品架范围内对样品进行观察,在更换样品的时候,也可以把调整臂旋转到一侧,方便更换。 | ||
显示器 | 17in显示器 | ||
样品照明设备 | 同轴灯和环形灯 | ||
带脚阀和流量计的液氦传输管线 | |||
控制柜 | |||
基本工具、备件和清洁工具 |