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美国 Lake Shore CRX-VF 低温真空探针台是一个低成本不需要低温制冷剂的探针台,它可以对器件进行非破坏性的测试,器件的最大尺寸可达到51mm(2inch)。它可以对材料或器件的电学特性测量、光电特性测量、参数测量、high Z测量、DC测量、RF测量和微波特性测量提供一个测试平台。一般来讲,纳米电子材料、量子线、量子点和半导体材料是在CRX-VF进行测量的比较典型的材料。系统的探针、测试电缆、样品架都有多种类型可供选择,从而满足不同用户的需要。
产品介绍 |
使用Sumitiomo 公司的4K闭循环制冷机,不需要消耗液氦和液氮,CRX-VF低温真空探针台能提供的最大超导磁场为22.5KOe(2.25T)*,它的温度变化范围是10K-500K。每一个低温样品级都安装温度计和加热器,可以提供快速的热响应,快速迅速回到室温,样品更换方便。热辐射屏大大降低了黑体辐射,提高了制冷效率。
系统采用了精心的设计来减低振动,采用各种减震装置阻止机械振动影响测量的性能。在全量程温度范围内,样品的振动小于1um ( X, Y, Z轴)。
美国 Lake Shore CRX-VF 低温真空探针台最多可安装6个可以进行微调整的探针臂,每个探针臂上的探针都可以进行3维方向上的定位。微波探头可以±5°旋转,使样品可以更好的和探针匹配。DC探针低噪音,低漏电流,热接触好。RF探针频率配置到67GHz.,光线可以从窗口入射,也可以通过光纤导入。专用的探针根据尺寸和材料不同,分为多种类型,探针减少了热质量,优化了和器件的电接触性。每个探针都直接和冷头进行导热,这样就减小了探针对样品的热传递。
产品特点 |
● 2.25T垂直超导磁场
● 采用闭循环制冷机制冷,不需消耗液氮或液氦,基本系统温度范围:10K到350K
● 高温选件温度范围:20K到500K
● 探针臂分别在防辐射屏和样品台上热沉,最低温度可以达到25K
● 探针臂传上安装温度感器进行温度监测
● 控温稳定性:±50mK
● 低振动设计:在样品台<1μm ( X, Y, Z轴)
● 测量DC到67GHz
● 各种样品架适于低噪音,高频,高阻测量
● 最大测试样品尺寸51mm(2in)直径
● 最多可使用6个探针臂
CRX-VF 低温真空探针台 垂直磁场超导磁体闭循环低温探针台针台技术参数
温度 | |
温度范围 | 标准温度范围:10K到350K |
高温选件温度范围:10K到500K | |
温度稳定性 | ±50mK |
加热器温度控制 | |
样品台 | 50W |
超导磁体 | 100W |
辐射防护屏 | 1个100W和1个50W |
探针臂 | 只监视温度 |
磁场 | |
最大磁场 | 2.25T@<350K(垂直超导磁场) |
探针臂行程及分辨率 | |
X轴 | 51mm(2inch),20μm分辨率 |
Y轴 | 25mm (1inch),10μm分辨率 |
Z轴 | 18mm (0.7inch),10μm分辨率 |
系统真空指标 | |
抽真空时间 | 系统冷却前抽真空到10-3 Torr,需要40分钟 |
室温真空度 | 10-4Torr |
光学分辨率-显微镜 | |
7:1 Zoom | 5微米 |
CRX-VF垂直磁场超导磁体闭循环低温探针台基本系统组成
超导磁体 | 22.5kOe(2.25T) |
超导磁体电源 | Lake shore 625 |
输出形式 | 双极,4象限,直流电流源 |
电流 | ±60A |
电压 | ±5V |
闭循环样品台制冷机- SHI RDK-408D2 | 10K(最低温度),10K到350K(控制温度) |
样品台温度传感器 | Lake Shore TG-120-CU 标定的GaAlAs温度计 |
磁场温度传感器 | Lake Shore CX-1030-CU 标定的Cernox温度计 |
二级冷头温度传感器 | Lake Shore DT-670-CU 硅二级管温度计 |
一级温度传感器 | Lake Shore DT-670-CU 硅二级管温度计 |
样品台加热器 | 50W |
磁场加热器 | 100W |
二级冷头加热器 | 不控制,只监视 |
一级冷头加热器 | 100W |
冷辐射屏和红外吸收窗口 | |
温度传感器 | Lake Shore DT-670-CU 硅二级管温度计 |
防辐射屏加热器 | 50W |
材料 | 镀镍的铝 |
上盖可打开,带视窗 | ¢51mm(2inch),¢50mm(1.97inch)可视区域 |
样品区域 | 132mm(5.2inch) |
温度控制器 | 2台Lake Shore 336温度控制器(分别控制样品台、磁体、辐射防护屏、一级冷头;监视二级冷头和探针臂的温度) |
真空腔体 | |
直径 | 279mm(11inch) |
上盖可打开,带清晰的熔凝石英窗口 | ¢63.5mm(2.5inch) |
可视区域 | ¢54mm(2.13.inch) |
探针臂开口 | 6个等间距的开口 |
泵口 | NW-40,(真空泵需要另外订购) |
安全阀 | NW-25 |
选项口 | 高真空 |
备用口 | NW-40和NW-25 |
铝制底座 | 610mm x 737mm (24 in × 29 in) |
支架 | 低振动,焊接不锈钢减震支架 |
一个探针臂上安装温度计,用来监视探针臂温度 | |
接地样品架 | SH-1.25-G,最大可测量样品尺寸¢32mm(1.25inch)和25mm(1 in)探测区域探测 |
光学 | |
Zoom 70显微镜 | 7:1 zoom 4μm分辨率 |
彩色CCD相机 | S端子输出和复合输出 |
扫描镜头臂 | 镜头的调整臂可以进行旋转、上下升降、前后移动,这样确保在整个样品架范围内对样品进行观察,在更换样品的时候,也可以把调整臂旋转到一侧,方便更换。 |
显示器 | 17in显示器 |
样品照明设备 | 同轴灯和环形灯 |
仪器控制柜 | |
基本工具、备件和清洁工具 |