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美国 Lake Shore CRX-EM-HF探针台是一个不需要低温制冷剂的探针台，它可以对器件进行非破坏性的测试，器件的最大尺寸可达到25mm(1inch)。它可以对材料或器件的电学特性测量、光电特性测量、参数测量、high Z测量、DC测量、RF测量和微波特性测量提供一个测试平台。一般来讲，纳米电子材料、量子线、量子点和半导体材料是在CRX-EM-HF进行测量的比较典型的材料。系统的探针、测试电缆、样品架都有多种类型可供选择，从而满足不同用户的需要。
| 产品介绍 |
使用Sumitiomo 公司的4K闭循环制冷机，不需要消耗液氦和液氮,CRX-VF能提供的水平区域电磁场场强为6.0KOe(0.6T),它的温度变化范围是8K-400K。加入高温选件可测量的温度变化范围是20K-500K。每一个低温样品级都安装温度计和加热器，可以提供快速的热响应，快速迅速回到室温，样品更换方便。热辐射屏大大降低了黑体辐射，确保有很小的热梯度。
系统采用了精心的设计来减低振动，采用各种减震装置阻止机械振动影响测量的性能。在全量程温度范围内，样品的振动小于1um ( X, Y, Z轴)。
美国 Lake Shore CRX-EM-HF最多可安装4个可以进行微调整的探针臂，每个探针臂上的探针都可以进行3维方向上的定位。微波探头可以±5°旋转，使样品可以更好的和探针匹配。360°样品台旋转选件允许你测量角度和测量器件的各异向性磁运输特性。专用的探针根据尺寸和材料不同，分为多种类型，探针减少了热质量，优化了和器件的电接触性。每个探针都直接和冷头进行导热，这样就减小了探针对样品的热传递。
| 产品特点 |
● 0.6T水平方向电磁铁磁场
● 采用闭循环制冷机制冷，不需消耗液氮或液氦，基本系统温度范围：8K到400K
● 探针臂传上安装温度感器进行温度监测
● 控温稳定性：±50mK
● 系统冷却时间<4.5小时
● 低振动设计：在样品台<1μm ( X, Y, Z轴)
● 测量DC到67GHz
● 各种样品架适于低噪音，高频，高阻测量
● 最大测试样品尺寸51mm（2in）直径
● 最多可使用6个探针臂
● 探针臂可进行3轴调整和平面内±5度的调整
CRX-EM-HF无液氦水平电磁场闭循环制冷机低温探针台技术参数
| 温度 | |
| 温度范围 | 标准温度范围：8K到400K |
| 高温选件温度范围：20K到500K | |
| 温度稳定性 | ±50mK |
| 磁场 | |
| 最大磁场 | 6koe(0.6T) |
| 磁场均匀区（70A） | |
| 10mm 直径wafer | 0.6% |
| 12.7mm直径wafer | 1.1% |
20mm直径wafer | 2% |
| 25.4mm直径wafer | 2.6% |
| 加热器温度控制 | |
| 样品台 | 100W |
| 辐射防护屏 | 50W |
| 二级冷头 | 50W |
| 一级冷头 | 100W |
| 探针臂 | 只监视温度 |
| 系统振动指标 | |
| 振幅（ X, Y, Z轴） | <1um 峰峰值，样品台 |
| 探针臂行程及分辨率 | |
| X轴 | 51mm（2inch），20μm分辨率 |
| Y轴 | 25mm (1inch)，10μm分辨率 |
| Z轴 | 18mm (0.7inch)，10μm分辨率 |
| 样品架转动 | |
| 360度（选件） | |
| 系统真空指标 | |
| 室温真空度 | 10-4Torr |
| 光学分辨率-显微镜 | |
| 7：1 Zoom | 8微米 |
CRX-EM-HF无液氦水平电磁场闭循环制冷机低温探针台基本系统组成
| 闭循环样品台制冷机- SHI RDK-408D2 | 10K（最低温度），10K到350K(控制温度) |
| 样品台温度传感器 | Lake Shore CX-1050-CU 标定的Cernox温度计 |
| 二级冷头温度传感器 | Lake Shore DT-670-CU 硅二级管温度计 |
| 一级温度传感器 | Lake Shore DT-670-CU 硅二级管温度计 |
| 样品台加热器 | 100W |
| 二级冷头加热器 | 50W |
| 一级冷头加热器 | 100W |
| 磁场 | |
| 电磁场强度 | 6kOe(0.6T),水平区域 |
| 冷却水流速 | 7.6L/min(2gal/min) |
| 电磁体电源 | Lake Shore 643 |
| 输出形式 | 双极，线型，4象限，直流电流源 |
| 电流 | ±70A |
| 电压 | ±35V |
| 冷却水流速 | 5.7L/min(1.5gal/min) |
| 高斯计和霍尔探头 | Lake Shore 475带探头（控制和监视） |
| 冷辐射屏和红外吸收窗口 | |
| 温度传感器 | Lake Shore DT-670-CU 硅二级管温度计 |
| 防辐射屏加热器 | 50W |
| 上盖可打开，带视窗 | ￠50mm(2inch)窗口 |
| 温度控制器 | 2台Lake Shore 336温度控制器（分别控制样品台、磁体、辐射防护屏、一级冷头；监视二级 冷头和探针臂的温度） |
| 真空腔体 | |
| 外部尺寸 | 340mm×203mm(13.4in×8in) |
| 上盖可打开，带清晰的熔凝石英窗口 | ￠54mm(2.13inch)窗口 |
| 探针臂开口 | 4个等间距的开口 |
| 泵口 | NW-40，（真空泵需要另外订购） |
| 安全阀 | NW-25 |
| 铝制底座 | 787mm x 419mm (31 in × 16.5 in) |
| 支架 | 低振动，焊接不锈钢减震支架 |
| 一个探针臂上安装温度计，用来监视探针臂温度 | |
| 接地样品架 | SH-1.25-G，最大可测量样品尺寸￠32mm(1.25inch)和25mm(1 in)探测区域探测 |
| 光学 | |
| Zoom 70显微镜 | 4μm分辨率 |
| 彩色CCD相机 | S端子输出和复合输出 |
| 扫描镜头臂 | 镜头的调整臂可以进行旋转、上下升降、前后移动，这样确保在整个样品架范围内对样品进行 观察，在更换样品的时候，也可以把调整臂旋转到一侧，方便更换。 |
| 显示器 | 17in显示器 |
| 样品照明设备 | 同轴灯和环形灯 |
| 仪器控制柜 | |
基本工具、备件和清洁工具 | |
