探针台怎么选

探针台怎么选？

探针台的选型需要根据具体应用需求和预算，应用方面需要确定以下的问题：

（1）最大需要测几英寸的晶圆或者器件？是否需要测试破片或者单颗芯片， 最小的单颗芯片尺寸？

（2）接驳的测试仪器接口有哪些？ 

（3）点测样品的电极尺寸？100um*100um或60um*60um的pad，还是FIB制作的mini pad，或者ic内部的metal线路？ 

（4）最多需要几根探针同时去点测？ 

（5）对chuck的漏电要求怎样？是否需要添加低阻抗chuck？ 

（6）探针台机械精度要求多高？ 

（7）探针点测时，对电流的要求是否达到100fa或者以下？低电容的要求是否要做到0.1pf？是否有射频的需求？ 12、是否需要防震桌？ 

（8）若添置防震桌，是否有压缩空气？

（9）是否会用到探针卡测试？ 

（10）光学显微镜的最小分辨率需要用到多少？ 

（11）显微镜方面，是否需要添加偏光片做LC液晶热点侦测？ 

（12）测试环境时是否会需要加热或者降温？ 是否需要密闭腔体？

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