2020-12-03 15:14:04 由 admin 发表
探针台怎么选?
探针台的选型需要根据具体应用需求和预算,应用方面需要确定以下的问题:
(1)最大需要测几英寸的晶圆或者器件?是否需要测试破片或者单颗芯片, 最小的单颗芯片尺寸?
(2)接驳的测试仪器接口有哪些?
(3)点测样品的电极尺寸?100um*100um或60um*60um的pad,还是FIB制作的mini pad,或者ic内部的metal线路?
(4)最多需要几根探针同时去点测?
(5)对chuck的漏电要求怎样?是否需要添加低阻抗chuck?
(6)探针台机械精度要求多高?
(7)探针点测时,对电流的要求是否达到100fa或者以下?低电容的要求是否要做到0.1pf?是否有射频的需求? 12、是否需要防震桌?
(8)若添置防震桌,是否有压缩空气?
(9)是否会用到探针卡测试?
(10)光学显微镜的最小分辨率需要用到多少?
(11)显微镜方面,是否需要添加偏光片做LC液晶热点侦测?
(12)测试环境时是否会需要加热或者降温? 是否需要密闭腔体?
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