2020-11-06 14:48:14 由 admin 发表
探针台工作原理
1.探针台工作原理
将待测物吸附在载物台上后推入探针台腔体内,利用探针座精密移动探针,通过显微镜的观察,将探针与待测物接触,然后将探针座上的电缆与仪表连接,通过自带的软件实现器件的参数测量和提取。结果方便保留对比查看。
2.探针台功能
通过连接仪器及待测物实现器件的参数提取,通过自带的驱动及测试软件能够独立实现器件的电学特性测试,为精密器件提供一个良好的系统平台。ADVANCED仪准科技研发的高性价比手动探针台可以搭配多种测试仪器使用,比如示波器,频谱仪,IV等等。
3.探针台用途
探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。ADVANCED仪准科技研发高性价比手动探针台,广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。芯片制造结束后即可在线测试,从源头即可监控。探针台用于对集成电路、三极管、二极管及光电探测器的IV/CV参数等性能测试与表征,是研究中不可缺少的基本设备。
4.探针台系统性能指标
可以实现通过软件对晶片载台X,Y,Z,
探针台可搭载光纤,未来可升级满足光电测试
载物台在XY方向:±1pm(0.04mls)分辨率、小于2μm(0.08mls)重复精度、大于50mm/sec的移动速度;在Z方向:5mm(0.19in)的移动范围、1pm(0.04mls)分辨率、小于1pmmls)重复精度.
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