2020-10-16 14:07:44 由 admin 发表
半自动探针台应用领域
半自动测试探针台针对8英寸晶圆片测试而设计的一体化在片测试解决方案,同时可提供射频微波、高压大电流测量能力。探针台载片台平面采用铝合金镀金保证测试过程中的低接触电阻、超薄晶圆片处理和功率耗散,同时提供低漏电噪声的保护及屏蔽环境。为了保证高压测试的人身安全,半自动测试探针台采用了安全互锁系统机构和测试系统级联。
半自动探针台控制软件简单直观控制载片台XYZ三向的步进移动,wafer图形分布描述,芯片图像对准,坐标定位等功能,同时配置经典的四向迷你位置操作键盘。
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